【技术实现步骤摘要】
本专利技术设计柔性传感器领域，尤其是基于离子弹性体的电容式压力传感器及其制备方法。
技术介绍
1、人机交互和医疗康复领域对可穿戴式的类人触觉功能器件具有迫切的需求。目前的柔性压力传感器按照传感原理分类主要有压电式、摩擦电式、压阻式、压容式，离电子式等。其中，近年来发展起来的离电子式压力传感器件基本结构为电极-离子弹性体-电极的三明治结构。离子弹性体是一种将离子液体掺杂进弹性母体的材料，由于其内部具有可自由移动的正负离子，离子弹性体表现出导离子特性和高弹性。工作原理为：当由电压施加在上下电极板时，电极和离子弹性体的界面处会形成双电层结构，极大地提高其电容值。相较于传统的电容式，其电容值由几十到几百pf/cm2增加到了μf/cm2量级。极大的电容值不仅使器件具有较高的灵敏度，还可以提高器件信噪比，有效抑制环境电磁波和寄生电容的影响。同时，离电子式压力传感器件还具备快速响应能力和对静态/动态压力响应的能力。但是目前报道的基于离电子式的压力传感器的结构中空气腔均需要处于离子弹性体的表面，即空气腔的上或者下侧墙壁必须由裸露电极构成。这明显会限制器...
【技术保护点】
1.离电子式压力传感器，其特征在于，包括上电极和下电极，上电极和下电极是导电薄膜，上电极和下电极之间设有离子弹性体，其特征在于，上电极和下电极的表面被相同材质的离子弹性体贴覆，空气腔存在于离子弹性体的内部，空气腔的各个壁均为离子弹性体。
2.如权利要求1所述的离电子式压力传感器，其特征在于，电极与离子弹性体界面处包括不存在空气腔的区域对应的界面处和存在空气腔的区域对应的界面处。
3.如权利要求2所述的离电子式压力传感器，其特征在于，所述的空气腔是闭孔。
4.如权利要求3所述的离电子式压力传感器，其特征在于，所述的闭孔之间相互连通。<...
【技术特征摘要】
1.离电子式压力传感器，其特征在于，包括上电极和下电极，上电极和下电极是导电薄膜，上电极和下电极之间设有离子弹性体，其特征在于，上电极和下电极的表面被相同材质的离子弹性体贴覆，空气腔存在于离子弹性体的内部，空气腔的各个壁均为离子弹性体。
2.如权利要求1所述的离电子式压力传感器，其特征在于，电极与离子弹性体界面处包括不存在空气腔的区域对应的界面处和存在空气腔的区域对应的界面处。
3.如权利要求2所述的离电子式压力传感器，其特征在于，所述的空气腔是闭孔。
4.如权利要求3所述的离电子式压力传感器，其特征在于，所述的闭孔之间相互连通。
5.如权利要求3所述的离电子式压力传感器，其特征在于，所述的闭孔的截面形状是梯形、v形、椭圆形之一。
6.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：马志军，张利昂，瞿瑞祥，陈福广，宋晓珂，冯雪，马思远，
申请(专利权)人：之江实验室，
类型：发明
国别省市：
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