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一种离电子式压力传感器及其制备方法技术
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文档序号:42638258
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一种离电子式压力传感器,包括上电极和下电极,上电极和下电极是导电薄膜,上电极和下电极之间设有离子弹性体,其特征在于,上电极和下电极的表面被相同材质的离子弹性体贴覆,空气腔存在于离子弹性体的内部,空气腔的各个壁均为离子弹性体。本发明还包离电子...
该专利属于之江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室授权不得商用。
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