【技术实现步骤摘要】
本申请涉及机械，特别是涉及一种用于晶圆键合设备的无摩擦气缸。
技术介绍
1、气缸作为机械设备(例如晶圆键合设备)的执行元件，由缸体、端盖、活塞、活塞杆和密封件等组成，将压缩空气的压力能转换为机械能，驱动机构作直线往复运动、摆动和旋转运动。普通的气缸常采用机械密封，缸体和活塞之间存在较大的摩擦力。为使气缸实现高精度的输出力控制，基于气体润滑技术的无摩擦气缸被提出。
2、传统的无摩擦气缸一般是利用静压气体轴承原理来消除摩擦，即在缸体内部或活塞外表面设计节流孔，用各种方式引导高压气体经过节流孔后进入预留好的气膜间隙，使活塞与缸体内壁之间形成一层气膜，从而获得无摩擦的效果。
3、然后，有的无摩擦气缸的活塞内部安装两个单向阀结构，换向时单向阀需要切换工作，无法为活塞与缸体内壁之间的高压气膜，提供稳定的气压输出。有的无摩擦气缸通过中空活塞杆向活塞供气的结构，虽然能够提供稳定的气压输出，但活塞两端及中间的扰动气体，只能排到无摩擦气缸的左右两侧腔室中，造成左右两侧腔室气流扰动现象。
技术实现思路>
1、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆键合设备的无摩擦气缸，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的无摩擦气缸，其特征在于，所述第一进气流道(210)包括多个进气孔(211)、多个第一盲孔(212)及多个第一节流孔(213)；
3.根据权利要求2所述的无摩擦气缸，其特征在于，所述第一排气流道(220)包括多个第一排气孔(221)、多个第二盲孔(222)及多个第二排气孔(223)；
4.根据权利要求3所述的无摩擦气缸，其特征在于，所述第一排气流道(220)还包括多个设置在所述活塞(200)外周面的第一排气槽(224)，多个所述第一排气槽(224)沿所述...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆键合设备的无摩擦气缸，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的无摩擦气缸，其特征在于，所述第一进气流道(210)包括多个进气孔(211)、多个第一盲孔(212)及多个第一节流孔(213)；
3.根据权利要求2所述的无摩擦气缸，其特征在于，所述第一排气流道(220)包括多个第一排气孔(221)、多个第二盲孔(222)及多个第二排气孔(223)；
4.根据权利要求3所述的无摩擦气缸，其特征在于，所述第一排气流道(220)还包括多个设置在所述活塞(200)外周面的第一排气槽(224)，多个所述第一排气槽(224)沿所述活塞(200)的长度方向依次排布，且每个所述第一排气槽(224)沿所述活塞(200)的周向设置一圈并与对应的所述第二排气孔(223)相通。
5.根据权利要求3所述的无摩擦气缸，其特征在于，所述第一通气间隔(p2)与所述第一进气流道(210)相通，所述第二通气间隔(p3)与所述第一排气流道(220)相通；
6.根据权利要3所述的无摩擦气缸，其特征在于，所述活塞杆组件还包括第一活塞端盖(610)，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：江敏，成超，滕翔宇，陈万群，王正根，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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