【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工设备，具体而言，涉及一种碳化硅石英复合舟托。
技术介绍
1、硅舟及舟托是光伏半导体加工常用设备，硅舟用于承载电池片，舟托用于支撑硅舟。目前产业上普遍使用石英材料的硅舟和舟托，因其生产工艺和石英材料特性，使用寿命较短，一般为3-6个月。
2、为了降低使用成本及维护维修停线造成的产能损失，有人提出以碳化硅材料代替石英。碳化硅硅舟及舟托结构稳定，材料热稳定性能好，高温使用不变形，具有超长的使用寿命，能有效解决光伏电池片高承载量下的承载部件损耗问题。
3、由于成本优势明显，碳化硅载具在光伏领域的应用前景广阔。但由于碳化硅材料的硬度高，碳化硅舟托与石英炉管接触部位会不可避免地对石英炉管造成损伤，而石英炉管内壁被碳化硅舟托刮伤后，会在损伤部位引起应力集中，进而损伤整个炉管，造成石英炉管使用寿命降低。
技术实现思路
1、本技术所要解决的问题是如何避免碳化硅舟托损伤石英炉管，延长石英炉管和碳化硅舟托整体的使用寿命。
2、为解决上述问题，本技术提供碳化硅石英复合舟托，包括舟托主体和多个舟脚，所述舟托主体的材质为碳化硅，所述舟脚的材质为石英，所述舟托主体的底部设有多个支座，所述舟脚数量与所述支座相同，所述支座上设有装配缺口，所述舟脚设置在所述装配缺口对应位置并与所述支座固定连接。
3、本技术设计了一种碳化硅/石英复合材料的舟托，舟托主体为碳化硅材料，材料热稳定性能好，使用寿命长；舟托与石英炉管接触的舟脚采用石英材料，由石英舟脚与石英炉
4、进一步地，所述舟脚的厚度比所述支座的厚度大10～30mm。稍微增加石英舟脚的厚度，有利于提高稳定性，减少舟脚的摆动。
5、进一步地，所述舟脚与所述支座接触部位设有柔性垫片。设置柔性垫片可以避免因为部分区域的应力集中造成的石英件崩角破损。
6、进一步地，所述舟脚远离所述装配缺口的边缘面为弧形面。舟脚与石英炉管接触部位采用弧形面结构，能增加接触面积，降低炉管损伤风险。
7、进一步地，所述舟脚与所述支座焊接连接。保证舟脚与支座连接稳定。
8、进一步地，所述舟脚至少一侧边缘的相对两面凹陷形成夹持部，所述装配缺口部位设有两个相对设置的夹板，两个所述夹板之间形成夹槽，所述夹持部进入所述夹槽，所述夹板与所述夹持部的侧面相抵，所述舟脚与所述夹板的边缘部位焊接。该结构采用双面对焊的方式，将石英舟脚固定在碳化硅支座上，连接可靠，舟脚安装牢固。
9、进一步地，所述夹板为l形，所述夹槽为l形，所述夹持部的形状与所述夹槽形状匹配。夹槽和夹持部为l形结构，使舟脚两侧边缘进入夹槽中，易于安装定位，连接稳定性好。
10、进一步地，所述舟脚与所述支座的连接部位设有连接销，所述连接销的材质为石英，所述连接销包括销头部和销钉部，所述支座上设有与所述装配缺口相连的第一连接缺口，所述舟脚与所述第一连接缺口相对的部位设有第二连接缺口，所述第一连接缺口和所述第二连接缺口组成连接孔，所述销钉部插入所述连接孔，所述销头部与所述支座的一侧面相抵，所述销钉部与所述连接孔的边缘部位焊接。该结构采用连接销熔焊的方式，将石英舟脚固定在碳化硅支座上，连接可靠，舟脚安装牢固。
11、进一步地，所述舟脚与所述支座可拆卸连接。由此石英舟脚损坏时可以拆卸更换，舟托整体更加耐用。
12、进一步地，所述舟脚与所述支座的连接部位设有第一定位销，所述装配缺口具有弧形的拼接槽，所述舟脚上设有与所述拼接槽形状对应的拼接部，所述拼接槽部位设有第一定位孔，所述拼接部与所述第一定位孔相对的部位设有定位槽，所述第一定位销的一端进入所述第一定位孔，另一端进入所述定位槽。该结构采用拼接部与定位销配合固定的方式，将石英舟脚固定在碳化硅支座上，拆装方便，装配定位准确，连接可靠。
13、进一步地，所述拼接槽的弧度大于180°。由此使拼接部与拼接槽难以脱离，提高连接可靠性。
14、进一步地，所述舟脚与所述支座的连接部位设有第二定位销，所述舟脚的上侧边缘设有第三定位孔，所述装配缺口与所述第三定位孔对应位置设有第二定位孔，所述第二定位销的一端进入所述第二定位孔，另二端进入所述第三定位孔。该结构用两个定位销配合进行定位，可以减少石英舟脚的摆动。
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1.一种碳化硅石英复合舟托，其特征在于，包括舟托主体(1)和多个舟脚(2)，所述舟托主体(1)的材质为碳化硅，所述舟脚(2)的材质为石英，所述舟托主体的底部设有多个支座(13)，所述舟脚(2)数量与所述支座(13)相同，所述支座(13)上设有装配缺口(14)，所述舟脚(2)设置在所述装配缺口(14)对应位置并与所述支座(13)固定连接。
2.根据权利要求1所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)的厚度比所述支座(13)的厚度大10～30mm。
3.根据权利要求1所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)与所述支座(13)接触部位设有柔性垫片。
4.根据权利要求1所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)远离所述装配缺口(14)的边缘面为弧形面(21)。
5.根据权利要求1～4任一所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)与所述支座(13)焊接连接。
6.根据权利要求5所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)至少一侧边缘的相对两面凹陷形成夹持部(25)，所述装配缺口(1
7.根据权利要求5所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)与所述支座(13)的连接部位设有连接销(3)，所述连接销(3)的材质为石英，所述连接销(3)包括销头部(31)和销钉部(32)，所述支座(13)上设有与所述装配缺口(14)相连的第一连接缺口，所述舟脚(2)与所述第一连接缺口相对的部位设有第二连接缺口(26)，所述第一连接缺口和所述第二连接缺口(26)组成连接孔，所述销钉部(32)插入所述连接孔，所述销头部(31)与所述支座(13)的一侧面相抵，所述销钉部(32)与所述连接孔的边缘部位焊接。
8.根据权利要求1～4任一所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)与所述支座(13)可拆卸连接。
9.根据权利要求8所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)与所述支座(13)的连接部位设有第一定位销，所述装配缺口(14)具有弧形的拼接槽(15)，所述拼接槽(15)的弧度大于180°，所述舟脚(2)上设有与所述拼接槽(15)形状对应的拼接部(22)，所述拼接槽(15)部位设有第一定位孔(16)，所述拼接部(22)与所述第一定位孔(16)相对的部位设有定位槽(23)，所述第一定位销的一端进入所述第一定位孔(16)，另一端进入所述定位槽(23)。
10.根据权利要求8所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)与所述支座(13)的连接部位设有第二定位销，所述舟脚(2)的上侧边缘设有第三定位孔(24)，所述装配缺口(14)与所述第三定位孔(24)对应位置设有第二定位孔(17)，所述第二定位销的一端进入所述第二定位孔(17)，另二端进入所述第三定位孔(24)。
...【技术特征摘要】
1.一种碳化硅石英复合舟托，其特征在于，包括舟托主体(1)和多个舟脚(2)，所述舟托主体(1)的材质为碳化硅，所述舟脚(2)的材质为石英，所述舟托主体的底部设有多个支座(13)，所述舟脚(2)数量与所述支座(13)相同，所述支座(13)上设有装配缺口(14)，所述舟脚(2)设置在所述装配缺口(14)对应位置并与所述支座(13)固定连接。
2.根据权利要求1所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)的厚度比所述支座(13)的厚度大10～30mm。
3.根据权利要求1所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)与所述支座(13)接触部位设有柔性垫片。
4.根据权利要求1所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)远离所述装配缺口(14)的边缘面为弧形面(21)。
5.根据权利要求1～4任一所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)与所述支座(13)焊接连接。
6.根据权利要求5所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)至少一侧边缘的相对两面凹陷形成夹持部(25)，所述装配缺口(14)部位设有两个相对设置的夹板(18)，两个所述夹板(18)之间形成夹槽，所述夹持部(25)进入所述夹槽，所述夹板(18)与所述夹持部(25)的侧面相抵，所述舟脚(2)与所述夹板(18)的边缘部位焊接，所述夹板(18)为l形，所述夹槽为l形，所述夹持部(25)的形状与所述夹槽形状匹配。
7.根据权利要求5所述的碳化硅石英复合舟托，其特征在于，所述舟脚(2)与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：于明亮，沈赟，秦伟，熊礼俊，邬妍佼，张碧盈，洪于喆，陈耕耘，姜建斌，刘洁，
申请(专利权)人：宁波伏尔肯科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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