【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蒸发镀膜，具体为一种线性蒸发源设备。
技术介绍
1、蒸发镀膜，vtd等类似工艺设备利用一些材料加热融成液态后，液态材料蒸发成蒸汽，沉积在基材上实现镀膜，此类设备的一个关键器件是蒸发器，现有基材为了实现使其表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于基材本身性能的需求，需要对基材进行多次的镀膜，就会设置多个线性分布的蒸发源设备来对不同的材料进行加热蒸发镀膜。
2、如专利公开号为cn105296934a的一种线形蒸发源及蒸镀设备，用以减少喷嘴堵塞现象的发生，提高蒸镀效率，其中，线形蒸发源，包括：一端开口的坩埚，坩埚内设有用于容置蒸镀材料的中空腔室；包围在坩埚外侧、为坩埚提供热量的第一加热器；盖合坩埚开口端的顶罩，顶罩上设有多个用于向待镀基板喷射气化的蒸镀材料的喷嘴；还包括：为每个喷嘴提供相同热量的第二加热器，第二加热器包括：与喷嘴一一对应、且包裹在对应的喷嘴外表面的加热端。
3、上述设备及其类似的设备侧重于利用多个喷嘴进行一一加热配合多个子腔室进行镀膜，保证镀膜的均匀性，但是在对基材进行不同功能性镀膜时，无法在多个子腔室内放置不同的材料进行加热蒸发，因为不同材料的性质不同，且蒸发所需温度和压力都是不同的，简单的将其分类放置不同的子腔室是无法进行有效蒸发的，只能够设置多个相同设备来才能满足基材不同功能性的镀膜需求，即便可以进行不同材料加热蒸发，也需要在上一个材料蒸发镀膜完毕后才能进行下一个材料加热蒸发，而且需要手动更换清理上一个材料，从而生产成本会提高，生产效率
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种线性蒸发源设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种线性蒸发源设备，包括驱动组件，所述驱动组件的若干个移动端顶部均安装有连接机构，且连接机构的内部和连接端分别安装有蒸发组件和盖板组件，驱动组件用于驱动若干个蒸发组件调节位置，若干个蒸发组件用于蒸发不同的镀膜材料，且连接机构配合盖板组件用于控制蒸发组件的开合，所述驱动组件内设置有调节组件，且调节组件的调节端底部安装有吸尘组件，且吸尘组件一端安装有喷头组件，吸尘组件用于清理喷头组件内残留蒸发物，调节组件的调节端用于控制喷头组件与蒸发组件进行插拔组合，所述蒸发组件包括缸体，且缸体的底部开设有密封槽，且密封槽的顶部内壁开设有连接口，所述喷头组件包括外壳和连接管，且连接管外表套接有密封块，连接管裸露部分用于与连接口形成插接配合，密封块用于与密封槽进行适当的过盈配合，所述外壳的外表开设有螺纹口，连接管外表开设有与螺纹口相通的清理口，所述调节组件包括气缸，且气缸用于升降调节端，所述吸尘组件包括吸尘软管，且吸尘软管的一端通过万向旋转接头连接有吸尘头，且吸尘头螺接于螺纹口内。
3、更进一步地，所述驱动组件包括环形安装板和若干个移动端，且环形安装板的内壁安装有环形导轨，环形导轨的内部安装有内齿环，移动端包括滑动块，且滑动块开设有滑槽与环形导轨形成滑动配合，滑动块的顶部外表安装有矩形板，且矩形板的顶部外表一角安装有伺服电机，伺服电机的输出轴贯穿矩形板安装有齿轮，且齿轮与内齿环形成啮合传动，矩形板的底部外表的另外三角均转动连接有保持轮，且保持轮与环形导轨形成滚动配合。
4、更进一步地，所述连接机构还包括连接板和连接端，且连接板固定安装于矩形板的顶部外表上，连接板的顶部外表一侧安装有l形板，且连接板的一端和l形板的一端均安装有连接环，两个连接环用于与缸体固定连接，连接端包括电动推杆，且电动推杆固定于连接板的顶部外表一侧，电动推杆的活塞杆顶端安装有l状板，l状板的一侧内壁通过螺栓安装有l形更换板，且l形更换板的顶部内壁安装有两个对称分布的固定柱，两个固定柱用于与盖板组件固定连接。
5、更进一步地，所述蒸发组件还包括第一陶瓷加热器，所述缸体的顶部外表开设有加热腔，且第一陶瓷加热器安装于加热腔内部，加热腔的底部内壁安装有一级分流板，且一级分流板位于第一陶瓷加热器的下方。
6、更进一步地，所述盖板组件包括盖体，盖体与缸体卡接进行密封，且盖体的底部外表安装有连接杆，连接杆的底端安装有放置板，放置板的顶部外表放置有坩埚，且盖体的顶部外表中部设置有第一连通管，第一连通管的外表安装有第一电磁阀，且盖体的顶部外表一侧设置有第二连通管，第二连通管的外表安装有第二电磁阀，且盖体的底部外表一侧安装有温度传感器，盖体的底部外表另一侧安装有压力传感器，且温度传感器的信号端和压力传感器的信号端均通过信号线连接有微处理器。
7、更进一步地，所述调节组件还包括柱状箱，且气缸安装于柱状箱内，气缸的活塞杆贯穿柱状箱固定有调节盘，且调节盘的底部外表安装有多个等距离分布的密封盖，密封盖用于对缸体的底部进行密封，柱状箱的顶部外表固定安装有连接头。
8、更进一步地，所述吸尘组件主要包括吸尘箱，且吸尘箱的一侧外表安装有吸尘泵，吸尘泵的吸尘端与吸尘箱连通，吸尘箱另一侧外表底部开设吸口，吸口的内部安装有第三电控阀，且第三电控阀的一端通过卡箍与吸尘软管进行连接，且吸尘软管的外表滑动连接有密封罩，密封罩的一端与外壳中层外表贴合，且密封罩的一端与外壳相粘接，密封罩用于对螺纹口进行密封，吸尘箱的一边外表开设有卡口，且吸尘箱通过螺栓连接有密封板，密封板与卡口形成卡接配合，密封板位于吸尘箱内的一边外表安装有活性炭吸附网，且活性炭吸附网与吸尘箱形成插接配合，吸尘箱的顶部外表安装有锤形块，且锤形块的顶端与调节盘连接，锤形块的一端与外壳的上层外表固定连接。
9、更进一步地，所述喷头组件还包括第二陶瓷加热器，所述外壳的下层开设有环形安装口用于安装第二陶瓷加热器，且外壳的下层外表套接有保温圈，外壳的顶端开设有固定口用于安装连接管，且外壳的底端开设有第一螺纹槽用于螺接连接罩，且连接罩的内部设有第二螺纹槽，连接罩通过第二螺纹槽螺接有喷射头，且连接罩的顶部外表开设有圆口，圆口内安装有密封斗，密封斗的内部顶层安装有二级分流板，二级分流板的顶部外表中部安装有引流块，所述喷射头的顶部外表开设有扩散腔与喷射头的喷射口连通。
10、更进一步地，所述环形导轨的竖截面为t形状，且滑动块开设有t形槽与环形导轨形成滑动配合，环形安装板的外表四端和连接头的顶部外表均开设有若干个安装孔。
11、更进一步地，所述吸尘软管靠近吸尘头的外表套接有限位板，且限位板与密封罩的内壁贴合，限位板靠近密封罩的一侧外表安装有密封垫。
12、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
13、本线性蒸发源设备，通过若干个蒸发组件可对不同的材料进行加热蒸发，驱动组件可带动若干个蒸发组件沿环形导轨移动调节位置，喷头组件在调节组件的调节下可在所处位置进行上下升降运动，从而在驱动组件与调节组件的配合下可让喷头组件与若干个蒸发组件一一进行组合，能够让基材在所处位置不动镀上多种不同膜，只需通过调节组件和驱动组件本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种线性蒸发源设备，包括驱动组件（1），其特征在于：所述驱动组件（1）的若干个移动端顶部均安装有连接机构（2），且连接机构（2）的内部和连接端分别安装有蒸发组件（3）和盖板组件（4），驱动组件（1）用于驱动若干个蒸发组件（3）调节位置，若干个蒸发组件（3）用于蒸发不同的镀膜材料，且连接机构（2）配合盖板组件（4）用于控制蒸发组件（3）的开合，所述驱动组件（1）内设置有调节组件（5），且调节组件（5）的调节端底部安装有吸尘组件（6），且吸尘组件（6）一端安装有喷头组件（7），吸尘组件（6）用于清理喷头组件（7）内残留蒸发物，调节组件（5）的调节端用于控制喷头组件（7）与蒸发组件（3）进行插拔组合，所述蒸发组件（3）包括缸体（31），且缸体（31）的底部开设有密封槽（33），且密封槽（33）的顶部内壁开设有连接口（32），所述喷头组件（7）包括外壳（71）和连接管（711），且连接管（711）外表套接有密封块（713），连接管（711）裸露部分用于与连接口（32）形成插接配合，密封块（713）用于与密封槽（33）进行适当的过盈配合，所述外壳（71）的外表开设有螺纹口（712），连
2.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源设备，其特征在于：所述驱动组件（1）包括环形安装板（11）和若干个移动端，且环形安装板（11）的内壁安装有环形导轨（12），环形导轨（12）的内部安装有内齿环（13），移动端包括滑动块（14），且滑动块（14）开设有滑槽与环形导轨（12）形成滑动配合，滑动块（14）的顶部外表安装有矩形板（15），且矩形板（15）的顶部外表一角安装有伺服电机（16），伺服电机（16）的输出轴贯穿矩形板（15）安装有齿轮（17），且齿轮（17）与内齿环（13）形成啮合传动，矩形板（15）的底部外表的另外三角均转动连接有保持轮（18），且保持轮（18）与环形导轨（12）形成滚动配合。
3.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源设备，其特征在于：所述连接机构（2）还包括连接板（21）和连接端，且连接板（21）固定安装于矩形板（15）的顶部外表上，连接板（21）的顶部外表一侧安装有L形板（22），且连接板（21）的一端和L形板（22）的一端均安装有连接环（23），两个连接环（23）用于与缸体（31）固定连接，连接端包括电动推杆（24），且电动推杆（24）固定于连接板（21）的顶部外表一侧，电动推杆（24）的活塞杆顶端安装有L状板（25），L状板（25）的一侧内壁通过螺栓安装有L形更换板（26），且L形更换板（26）的顶部内壁安装有两个对称分布的固定柱（27），两个固定柱（27）用于与盖板组件（4）固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源设备，其特征在于：所述蒸发组件（3）还包括第一陶瓷加热器（36），所述缸体（31）的顶部外表开设有加热腔，且第一陶瓷加热器（36）安装于加热腔内部，加热腔的底部内壁安装有一级分流板（34），且一级分流板（34）位于第一陶瓷加热器（36）的下方。
5.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源设备，其特征在于：所述盖板组件（4）包括盖体（410），盖体（410）与缸体（31）卡接进行密封，且盖体（410）的底部外表安装有连接杆（41），连接杆（41）的底端安装有放置板（42），放置板（42）的顶部外表放置有坩埚（43），且盖体（410）的顶部外表中部设置有第一连通管（44），第一连通管（44）的外表安装有第一电磁阀（45），且盖体（410）的顶部外表一侧设置有第二连通管（46），第二连通管（46）的外表安装有第二电磁阀（47），且盖体（410）的底部外表一侧安装有温度传感器（48），盖体（410）的底部外表另一侧安装有压力传感器（49），且温度传感器（48）的信号端和压力传感器（49）的信号端均通过信号线连接有微处理器。
6.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源设备，其特征在于：所述调节组件（5）还包括柱状箱（51），且气缸（52）安装于柱状箱（51）内，气缸（52）的活塞杆贯穿柱状箱（51）固定有调节盘（53），且调节盘（53）的底部外表安装有多个等距离分布的密封盖（54），密封盖（54）用于对缸体（31）的底部进行密封，柱状箱（51）的顶部外表固定安装有连接头（55）。
7.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源设备，其特征在于，所述吸尘组件（6）主要包括吸尘箱（6...
【技术特征摘要】
1.一种线性蒸发源设备，包括驱动组件（1），其特征在于：所述驱动组件（1）的若干个移动端顶部均安装有连接机构（2），且连接机构（2）的内部和连接端分别安装有蒸发组件（3）和盖板组件（4），驱动组件（1）用于驱动若干个蒸发组件（3）调节位置，若干个蒸发组件（3）用于蒸发不同的镀膜材料，且连接机构（2）配合盖板组件（4）用于控制蒸发组件（3）的开合，所述驱动组件（1）内设置有调节组件（5），且调节组件（5）的调节端底部安装有吸尘组件（6），且吸尘组件（6）一端安装有喷头组件（7），吸尘组件（6）用于清理喷头组件（7）内残留蒸发物，调节组件（5）的调节端用于控制喷头组件（7）与蒸发组件（3）进行插拔组合，所述蒸发组件（3）包括缸体（31），且缸体（31）的底部开设有密封槽（33），且密封槽（33）的顶部内壁开设有连接口（32），所述喷头组件（7）包括外壳（71）和连接管（711），且连接管（711）外表套接有密封块（713），连接管（711）裸露部分用于与连接口（32）形成插接配合，密封块（713）用于与密封槽（33）进行适当的过盈配合，所述外壳（71）的外表开设有螺纹口（712），连接管（711）外表开设有与螺纹口（712）相通的清理口（714），所述调节组件（5）包括气缸（52），且气缸（52）用于升降调节端，所述吸尘组件（6）包括吸尘软管（63），且吸尘软管（63）的一端通过万向旋转接头连接有吸尘头（65），且吸尘头（65）螺接于螺纹口（712）内。
2.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源设备，其特征在于：所述驱动组件（1）包括环形安装板（11）和若干个移动端，且环形安装板（11）的内壁安装有环形导轨（12），环形导轨（12）的内部安装有内齿环（13），移动端包括滑动块（14），且滑动块（14）开设有滑槽与环形导轨（12）形成滑动配合，滑动块（14）的顶部外表安装有矩形板（15），且矩形板（15）的顶部外表一角安装有伺服电机（16），伺服电机（16）的输出轴贯穿矩形板（15）安装有齿轮（17），且齿轮（17）与内齿环（13）形成啮合传动，矩形板（15）的底部外表的另外三角均转动连接有保持轮（18），且保持轮（18）与环形导轨（12）形成滚动配合。
3.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源设备，其特征在于：所述连接机构（2）还包括连接板（21）和连接端，且连接板（21）固定安装于矩形板（15）的顶部外表上，连接板（21）的顶部外表一侧安装有l形板（22），且连接板（21）的一端和l形板（22）的一端均安装有连接环（23），两个连接环（23）用于与缸体（31）固定连接，连接端包括电动推杆（24），且电动推杆（24）固定于连接板（21）的顶部外表一侧，电动推杆（24）的活塞杆顶端安装有l状板（25），l状板（25）的一侧内壁通过螺栓安装有l形更换板（26），且l形更换板（26）的顶部内壁安装有两个对称分布的固定柱（27），两个固定柱（27）用于与盖板组件（4）固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源设备，其特征在于：所述蒸发组件（3）还包括第一陶瓷加热器（36），所述缸体（31）的顶部外表开设有加热腔，且第一陶瓷加热器（36）安装于加热腔内部，加热腔的底部内壁安装有一级分流板（34），且一级分流板（34）位于第一陶瓷加热器（36）的下方。
5.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源设备，其特征在于：所述盖板组件（4）包括盖体（410），盖体（410）与缸体（31）卡接进行密封，且盖体（410）...
【专利技术属性】
技术研发人员：李剑飞，刘华林，郝文涛，王超，黄小卫，
申请(专利权)人：蒙城繁枫真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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