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一种线性蒸发源设备制造技术
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文档序号:42615000
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本发明涉及蒸发镀膜技术领域,涉及一种线性蒸发源设备技术领域。包括一种线性蒸发源设备驱动组件,所述驱动组件的若干个移动端顶部均安装有连接机构,且连接机构的内部和连接端分别安装有蒸发组件和盖板组件。本发明通过若干个蒸发组件可对不同的材料加热蒸发...
该专利属于蒙城繁枫真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过蒙城繁枫真空科技有限公司授权不得商用。
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