【技术实现步骤摘要】
本技术属于工装夹具，涉及一种旋转靶材涂布夹具。
技术介绍
1、随着陶瓷靶材的市场需求量提高，旋转靶材的产量逐年增大，旋转靶材的制备过程中，涂布技术尤为重要。
2、目前，旋转靶材的涂布技术工艺过程中存在以下问题：（1）现有旋转靶材涂布工艺过程中陶瓷靶材容易受到额外的力，导致靶材外观不良及涂布不良，增加旋转靶材报废的成本。（2）现有旋转靶材涂布工艺过程中，熔融的流动铟会流出旋转靶材内圆，需要工作人员定期检查并添加铟液，导致人员工作量繁琐。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的上述问题，本技术的目的在于提供一种结构简单、使用简便的旋转靶材涂布夹具，能有效减少旋转靶材在涂布工序的不良率，减少因靶材不良产生的成本消耗。
2、为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：
3、一种旋转靶材涂布夹具，包括相对设置的两个固定端环和连接两个固定端环的螺杆，所述固定端环为圆环结构，每个圆环结构上设有供螺杆穿过的通孔，两个圆环结构相对端的内侧设置有环形台阶，相对设置的环形台阶之间形成装夹旋转靶材的容纳空间。
4、进一步地，环形台阶的层数大于等于1，两个环形台阶的层数相同、且一一对应。
5、进一步优选地，对应设置的单层环形台阶的外径尺寸、内径尺寸相同；对应设置的单层环形台阶之间形成装夹适配尺寸的旋转靶材的容纳空间。
6、进一步地，每层环形台阶的外径与所装夹旋转靶材的外径相同，每层环形台阶的内径小于所装夹旋转靶材的内径。
7、
8、进一步地，每个固定端环上设置至少三个通孔。
9、进一步优选地，所述通孔沿固定端环周向均匀分布。
10、进一步地，所述螺杆为刚性材质。进一步优选为碳钢、合金钢或不锈钢材质。
11、进一步地，所述固定端环为软性材质。进一步优选为硅胶、氟橡胶、聚四氟乙烯或丁基橡胶材质。
12、与现有技术相比，本技术的有益效果为：
13、本技术的旋转靶材涂布夹具结构简单、使用简便，能有效地减少旋转靶材在涂布工序的不良率，减少因靶材不良产生的成本消耗。
14、本技术的旋转靶材涂布夹具在涂布过程中对旋转靶材有保护作用，可防止熔融的流动铟流出旋转靶材内圆，减少涂布工序的工作量，提高涂布的工作效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种旋转靶材涂布夹具，其特征在于，包括相对设置的两个固定端环和连接两个固定端环的螺杆，所述固定端环为圆环结构，每个圆环结构上设有供螺杆穿过的通孔，两个圆环结构相对端的内侧设置有环形台阶，相对设置的环形台阶之间形成装夹旋转靶材的容纳空间。
2.如权利要求1所述的旋转靶材涂布夹具，其特征在于，环形台阶的层数大于等于1，两个环形台阶的层数相同、且一一对应。
3.如权利要求2所述的旋转靶材涂布夹具，其特征在于，对应设置的单层环形台阶的外径尺寸、内径尺寸相同；对应设置的单层环形台阶之间形成装夹适配尺寸的旋转靶材的容纳空间。
4.如权利要求2或3所述的旋转靶材涂布夹具，其特征在于，每层环形台阶的外径与所装夹旋转靶材的外径相同，每层环形台阶的内径小于所装夹旋转靶材的内径。
5.如权利要求1所述的旋转靶材涂布夹具，其特征在于，所述通孔靠近圆环结构的外圆周边缘设置，所述通孔与环形台阶之间留有距离。
6.如权利要求1或5所述的旋转靶材涂布夹具，其特征在于，每个固定端环上设置至少三个通孔。
7.如权利要求6所述的旋转靶材涂布夹
8.如权利要求1所述的旋转靶材涂布夹具，其特征在于，所述螺杆为刚性材质。
9.如权利要求1所述的旋转靶材涂布夹具，其特征在于，所述固定端环为软性材质。
...【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材涂布夹具，其特征在于，包括相对设置的两个固定端环和连接两个固定端环的螺杆，所述固定端环为圆环结构，每个圆环结构上设有供螺杆穿过的通孔，两个圆环结构相对端的内侧设置有环形台阶，相对设置的环形台阶之间形成装夹旋转靶材的容纳空间。
2.如权利要求1所述的旋转靶材涂布夹具，其特征在于，环形台阶的层数大于等于1，两个环形台阶的层数相同、且一一对应。
3.如权利要求2所述的旋转靶材涂布夹具，其特征在于，对应设置的单层环形台阶的外径尺寸、内径尺寸相同；对应设置的单层环形台阶之间形成装夹适配尺寸的旋转靶材的容纳空间。
4.如权利要求2或3所述的旋转靶材涂布夹具，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：林昊，刘毅华，余芳，刘佰玲，裴炜炀，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。