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本技术属于工装夹具技术领域，公开了一种旋转靶材涂布夹具。包括相对设置的两个固定端环和连接两个固定端环的螺杆，所述固定端环为圆环结构，每个圆环结构上设有供螺杆穿过的通孔，两个圆环结构相对端的内侧设置有环形台阶，相对设置的环形台阶之间形成装夹旋...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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