一种TOPCon电池湿法氧化工艺制造技术

本申请涉及一种TOPCon电池湿法氧化工艺，利用石英水瓶通过氮气鼓泡产生水蒸汽并传送到炉管内和氧气混合形成湿氧，包括如下步骤：将制绒后的硅片放入炉管中进行硼扩散，获得硼扩散后的硅片；对硼扩散后的硅片利用激光进行图形化开窗，获得激光开窗后的硅片；对激光开窗后的硅片采用水蒸汽和氧气进行湿法氧化工艺，获得氧化后的硅片；石英水瓶包括：瓶体，瓶体的内部盛装有液态水；石英舟网格设置在瓶体的内部；进气管的下端伸入至瓶体的内部且穿过石英舟网格后延伸至瓶体的底部；出气管的下端伸入至瓶体的内部，且位于石英舟网格的上方。本申请通过在石英水瓶内增加石英舟网格来改善水汽回流现象，降低水直通炉管对电池效率的影响。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及太阳能电池制造，特别是涉及一种topcon电池湿法氧化工艺。

技术介绍

1、topcon(tunneloxidepassivatedcontact，隧穿氧化层钝化接触)电池采用背面氧化层+掺杂硅的复合结构，形成良好的钝化接触，可提升电池的性能。

2、目前，topcon电池制备时，是先通过高温掺杂对硅基体掺硼，以与硅基体形成pn结，然后，在背面制备隧穿氧化层和钝化层，并进行栅线制备。

3、现有技术中一般是采用干法氧化方法进行高温硼扩散过程，干法氧化方法存在的问题是工艺时间长，氧气耗量高，成本较高。因此目前采用湿法氧化工艺通过加入水汽加速氧化速度，缩短工艺时间或降低工艺温度降低能耗，但是氮气通过水瓶鼓泡携带水汽，易形成水汽回流现象。

4、因此，亟需提供一种topcon电池湿法氧化工艺来解决以上提出的技术问题。

技术实现思路

1、基于此，提供一种topcon电池湿法氧化工艺，通过在石英水瓶内增加石英舟网格来改善水汽回流现象，降低水直通炉管对电池效率的影响。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种TOPCon电池湿法氧化工艺，其特征在于，利用石英水瓶通过氮气鼓泡产生水蒸汽并传送到炉管内和氧气混合形成湿氧，具体包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的TOPCon电池湿法氧化工艺，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的TOPCon电池湿法氧化工艺，其特征在于，

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6.根据权利要求4所述的TOPCon电池湿法氧化工艺，其特征在于，

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【技术特征摘要】

1.一种topcon电池湿法氧化工艺，其特征在于，利用石英水瓶通过氮气鼓泡产生水蒸汽并传送到炉管内和氧气混合形成湿氧，具体包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的topcon电池湿法氧化工艺，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的topcon电池湿法氧化工艺，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的topcon电池湿法氧化工艺，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的topcon电池湿...

【专利技术属性】
技术研发人员：许生芹，丛颍东，
申请(专利权)人：东台晶澳太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：