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本申请涉及一种TOPCon电池湿法氧化工艺，利用石英水瓶通过氮气鼓泡产生水蒸汽并传送到炉管内和氧气混合形成湿氧，包括如下步骤：将制绒后的硅片放入炉管中进行硼扩散，获得硼扩散后的硅片；对硼扩散后的硅片利用激光进行图形化开窗，获得激光开窗后的硅...
该专利属于东台晶澳太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东台晶澳太阳能科技有限公司授权不得商用。

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