一种基于法珀干涉的测距方法技术

技术编号:42610366 阅读:29 留言:0更新日期:2024-09-03 18:18
本发明专利技术公开了一种基于法珀干涉的测距方法,属于激光测量技术领域,解决了测距方法测量精度不足的问题,本发明专利技术包括如下步骤:测量系统通过光纤连接到测头,测距系统设置出光,经过测头发射出准直后的测量光照射至被测物体表面,经被测物体表面反射后,传输回测量系统,利用内部法珀干涉计算条纹,获得光程差,再计算测头到被测表面的直线距离,将计算的结果数据传输到计算机,进行后续数据处理。本发明专利技术的方法用于面型测量和测距反馈,测量范围更广,精度更高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光测量,具体涉及一种基于法珀干涉的测距方法


技术介绍

1、现有的测距方法主要以使用电容式或者电感式的测距仪为主,其受限于测量距离较短,测量空间因素的影响也较大,只能针对于特殊的使用场所。而精度较高的测量方法主要以采用激光测距仪为主,典型的是双频激光测距仪,其测量精度达nm级,但由于激光器主体作为测量主体,主体内包含激光光源、准直系统、计算模块和其他辅助模块,相对于其他测距仪,体积较大,不便于安装在狭小的测量空间,同时对环境要求较高,在恶劣的使用环境中,很难保证测量方法的精度。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于:

2、为解决现有技术中的测距方法测量精度低的问题,提供一种基于法珀干涉的测距方法。

3、本专利技术采用的技术方案如下:

4、一种基于法珀干涉的测距方法,包括如下步骤:

5、测量系统通过光纤连接到测头,测距系统设置出光,经过测头发射出准直后的测量光照射至被测物体表面,经被测物体表面反射后,传输回测量系统,利用内部法珀干涉计算条纹,获得本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于法珀干涉的测距方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种基于法珀干涉的测距方法,其特征在于,所述测头采用平行光整形测头并在平行光整形测头与被测物体之间的光路上设置偏振分束器反馈模块,测距系统设置多路出光和多个平行光整形测头,经过多个测头发射出多路准直后的平行测量光通过偏振分束器反馈模块后照射到被测物体表面进行测量,且测量系统计算的结果数据传输到计算机后,结合偏振分束器反馈模块进行后续数据处理。

3.根据权利要求2所述的一种基于法珀干涉的测距方法,其特征在于,所述结合偏振分束器反馈模块进行后续数据处理的方法为:p>

4.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种基于法珀干涉的测距方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种基于法珀干涉的测距方法,其特征在于,所述测头采用平行光整形测头并在平行光整形测头与被测物体之间的光路上设置偏振分束器反馈模块,测距系统设置多路出光和多个平行光整形测头,经过多个测头发射出多路准直后的平行测量光通过偏振分束器反馈模块后照射到被测物体表面进行测量,且测量系统计算的结果数据传输到计算机后,结合偏振分束器反...

【专利技术属性】
技术研发人员:范朦王玉鲁蒋毅杨龙范松如向铁军吴佳阳胡皓
申请(专利权)人:四川欧瑞特光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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