一种化学气相沉积设备用进气机构制造技术

本技术公开了一种化学气相沉积设备用进气机构，属于化学气相沉积技术领域，用于解决现有多种气体直接送入沉积炉内部，各种气体在沉积室内部分布较散，影响沉积效果的问题；包括沉积炉体，所述沉积炉体的下端设置有进气管，所述进气管的内部设置有混合进气机构，所述混合进气机构包括第一转杆，所述第一转杆左端的圆周表面设置有第一螺旋扇叶，所述第一转杆的右端设置有锥形传动轮，所述锥形传动轮的右端啮合连接有锥形从动轮；通过设置的混合进气机构，能够在进气前，将几种不同的气体进行均匀混合，接着将混合气体均匀的分布在沉积室内部各处，避免气体直接送入沉积室内部，各种气体分布较散，混合不够均匀影响沉积效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于化学气相沉积，具体涉及一种化学气相沉积设备用进气机构。

技术介绍

1、化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。

2、传统的化学气相沉积过程中，多种气体一般是直接通入沉积炉体中，气体之间混合不够均匀，容易在炉体内部发生不同的反应，影响反应效果，为此我们提出一种化学气相沉积设备用进气机构。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种化学气相沉积设备用进气机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种化学气相沉积设备用进气机构，包括沉积炉体，所述沉积炉体的下端设置有进气管，所述进气管的内部设置有混合进气机构，所述混合进气机构包括第一转杆，所述第一转杆左端的圆周表面设置有第一螺旋扇叶，所述第一转杆的右端设置有锥形传动轮本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种化学气相沉积设备用进气机构，包括沉积炉体(1)，其特征在于：所述沉积炉体(1)的下端设置有进气管(2)，所述进气管(2)的内部设置有混合进气机构(3)，所述混合进气机构(3)包括第一转杆(301)，所述第一转杆(301)左端的圆周表面设置有第一螺旋扇叶(302)，所述第一转杆(301)的右端设置有锥形传动轮(303)，所述锥形传动轮(303)的右端啮合连接有锥形从动轮(304)，所述锥形从动轮(304)的上端设置有第二转杆(305)，所述第二转杆(305)上端的圆周表面设置有第二扇叶(306)，所述进气管(2)的左端开设有进气口(4)。

2.根据权利要求1所述的一种化...

【技术特征摘要】

1.一种化学气相沉积设备用进气机构，包括沉积炉体(1)，其特征在于：所述沉积炉体(1)的下端设置有进气管(2)，所述进气管(2)的内部设置有混合进气机构(3)，所述混合进气机构(3)包括第一转杆(301)，所述第一转杆(301)左端的圆周表面设置有第一螺旋扇叶(302)，所述第一转杆(301)的右端设置有锥形传动轮(303)，所述锥形传动轮(303)的右端啮合连接有锥形从动轮(304)，所述锥形从动轮(304)的上端设置有第二转杆(305)，所述第二转杆(305)上端的圆周表面设置有第二扇叶(306)，所述进气管(2)的左端开设有进气口(4)。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备用进气机构，其特征在于：所述沉积炉体(1)的内部设置有沉积室(6)，所述沉积室(6)的圆周外表面螺旋设置有通气管(5)，所述通气管(5)的下端与进气管(2)的上端内部相连通，所述通气管(5)的侧壁通过通气孔(7)与沉积室(6)的内部相...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄波，丁正和，陈华顺，刘东来，何军，张建耀，
申请(专利权)人：上海尼侃真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：