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本技术公开了一种化学气相沉积设备用进气机构，属于化学气相沉积技术领域，用于解决现有多种气体直接送入沉积炉内部，各种气体在沉积室内部分布较散，影响沉积效果的问题；包括沉积炉体，所述沉积炉体的下端设置有进气管，所述进气管的内部设置有混合进气机构...
该专利属于上海尼侃真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海尼侃真空技术有限公司授权不得商用。

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