【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及透射电子显微镜图像处理，尤其涉及一种高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法及装置。
技术介绍
1、在高分辨率透射电子显微成像模式（hrtem）中，受像差的影响，电镜图像上物体会发生畸变，使可解释的材料图像分辨率降低。尽管在应用了球差校正器之后得到了很大的改善，但是从图像上来看，像差的影响依然很明显。
2、在透射电子显微镜领域，波函数重构作为一种关键技术，旨在克服由像差引起的图像失真，进而实现对原子结构的精准成像。传统的像差测量方法利用非晶样品的独特性质，通过收集一系列倾斜角度下的图像及其对应衍射环信息，能够有效的将难以量化的高阶像差转化为较易处理的低阶像差，从而达到测量像差的目的。此外，还可以在非晶中使用标准差最小理论来测量像差。非晶法要求图像中必须含有非晶，然而科研人员更多关注的一般为晶体区域，样品位置的变动可能导致像差参数波动，增加了实际操作的复杂度。此外，一种迭代算法提出原子在无像差时呈现理想的点对称性，此方法在校正高阶像散方面效果显著，也揭示了初始重构波函数中仍含有残余欠焦的影响，因此继续优化像差校正模...
【技术保护点】
1.一种高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法，其特征在于，所述方法中，需要调整的像差参数包括：焦距、二阶像散与其角度值、三阶像散与其角度值、二阶彗差与其角度值、三阶球面像差、四轴像散与其角度值、二阶星状像差与其角度值、五阶像散与其角度值、三瓣像差与其角度值、四阶轴向慧差与其角度值、五阶球面像差、六阶散光像散与其角度值、四瓣像差与其角度值、四阶星状像差与其角度值。
3.根据权利要求1所述的高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法，其特征在于，根据各实...
【技术特征摘要】
1.一种高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法，其特征在于，所述方法中，需要调整的像差参数包括：焦距、二阶像散与其角度值、三阶像散与其角度值、二阶彗差与其角度值、三阶球面像差、四轴像散与其角度值、二阶星状像差与其角度值、五阶像散与其角度值、三瓣像差与其角度值、四阶轴向慧差与其角度值、五阶球面像差、六阶散光像散与其角度值、四瓣像差与其角度值、四阶星状像差与其角度值。
3.根据权利要求1所述的高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法，其特征在于，根据各实验像重建所述预设晶态材料后表面的平均出射波函数，包括：
4.根据权利要求3所述的高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法，其特征在于，所述误差函数的表达式为：
5.根据权利要求4所述的高分辨率透射电子显微镜像的像差确定方法，其特征在于，所述方法采用高分辨透射电镜模...
【专利技术属性】
技术研发人员：林芳，王淑雅，林上港，徐佳文，陈仕长，
申请(专利权)人：华南农业大学，
类型：发明
国别省市：
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