晶体硅太阳电池制造技术

技术编号:4256161 阅读:138 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种晶体硅太阳电池,它包括一层氮化硅薄膜(2),它还包括一层不同折射率、不同厚度的非晶硅薄膜(3),所述非晶硅薄膜层(3)的一表面与太阳电池的受光面(1)贴合,所述非晶硅薄膜层(3)的另一表面与所述氮化硅薄膜层(2)的表面贴合。本实用新型专利技术晶体硅太阳电池可进一步降低光反射率以提高光电转换效率。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶体硅太阳电池
技术介绍
目前,制约太阳电池广泛应用的两个关键问题是1、光电转换效率;2、成本。晶体 硅太阳电池因其成本低、便于大规模生产等优点而普遍受到人们的重视并得到迅速发展。 晶体硅太阳电池的现有技术是通过在晶体硅太阳电池表面沉积一层氮化硅减薄膜来降低 太阳电池板上的光反射率以提高晶体硅太阳电池的光电转换效率, 一般做法是采用PECVD 技术在晶体硅太阳电池的受光面上沉积一层减反射薄膜,即氮化硅薄膜,从而达到提高光 电转换效率的目的。这种结构虽然在一定程度上降低了晶体硅太阳电池的光反射率,但是现有技术生产的晶体硅太阳电池的光反射率仍然比较高,不利于光电转换效率的提高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是,提供一种进一步降低光反射率以提高光电转换效率 的晶体硅太阳电池。本技术的技术方案是,提供一种晶体硅太阳电池,它包括一层氮化硅薄膜,它还 包括一层不同折射率、不同厚度非晶硅薄膜,所述非晶硅薄膜层的一表面与太阳电池的受 光面贴合,所述非晶硅薄膜层的另一表面与所述氮化硅薄膜层的表面贴合。采用以上结构后,本技术与现有技术相比,具有以下优点-本技术晶体硅太阳电池在现有的氮化硅薄膜层基础上又贴合一层不同折射率、不 同厚度的晶体硅薄膜,可进一步降低太阳电池受光面上的反射率,从而进一步提高晶体硅 太阳电池的光电转换效率。附图说明附图是本技术的结构图。图中所示1、受光面,2、氮化硅薄膜层,3、非晶硅薄膜层。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明。如图所示,本技术是一种晶体硅太阳电池,它包括一层氮化硅(SiNx)薄膜2, 它还包括一层不同折射率、不同厚度非晶硅(a - Si)薄膜3,所述非晶硅(a - Si)薄膜层3的一表面与太阳电池的受光面1贴合,所述非晶硅(a - Si)薄膜层3的另一表面 与所述氮化硅(SiNx)薄膜层2的表面贴合。本技术采用PECVD发在晶体硅太阳电池的正面沉积一层非晶硅(a - Si) /氮化 硅(SiNx)双层结构的减反射膜。根据光的干涉原理可得,单层减反射膜的减反射效果是有限的,因此需要双层减反射 膜或多层减反射膜来进一步减少反射。在实际的半导体表面的反射率与入射光的波长有 关, 一般为30 50%。为防止表面的反射,在半导体表面制备折射率介于半导体和空气折 射率之间的透明薄膜层。这个薄膜层称为减反射膜。设半导体、减反射膜、空气的折射率分别为ri2、 n、n。,减反射膜厚度为山,A为波 长,则根据需要满足的公式r产(n。 - n,)/(n。 + ru)r2= (ru - n2) / (m + n2)2nn丄d,/入显然,减反射膜的厚度d,为1/4波长时,R为最小。因此,根据上面公式得出,所述非晶硅(a - Si)薄膜的折射率为2.2 3.2,所述非 晶硅(a -Si)薄膜层3的厚度为45 70咖;所述的氮化硅(SiNJ薄膜的折射率为1. 2 2,所述氮化硅(SiNx)薄膜层2的厚度为75 125nm。另外,根据试验数据表明晶体硅太阳电池在采用单层氮化硅(SiNj薄膜作为减反 射薄膜时,晶体硅太阳电池电流密度为33. 5mA/cm2,而采用非晶硅(a - Si)/氮化硅(SiNx) 双层薄膜作为减反射薄膜时,晶体硅电池电流密度为34. 8raA/cm2,短路电流密度提高3. 8%。 因此,可得出本技术使用的非晶硅(a - Si) /氮化硅(SiNx)双层薄膜相对于单层氮 化硅(SiNx)薄膜,其反射率降低,光电转换效率有了一定地提高。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶体硅太阳电池,它包括一层氮化硅薄膜(2),其特征在于:它还包括一层不同折射率、不同厚度的非晶硅薄膜(3),所述非晶硅薄膜层(3)的一表面与太阳电池的受光面(1)贴合,所述非晶硅薄膜层(3)的另一表面与所述氮化硅薄膜层(2)的表面贴合。

【技术特征摘要】
1、一种晶体硅太阳电池,它包括一层氮化硅薄膜(2),其特征在于它还包括一层不同折射率、不同厚度的非晶硅薄膜(3),所述非晶硅薄膜层(3)的一表面与太阳电池的受光面(1)贴合,所述非晶硅薄膜层(3)的另一表面与所述氮化硅薄膜层(2)的表面贴合。2、 根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄岳文甘旭季凯春李华维陈斌孙励斌徐晓群殷海亭李志强唐则祁胡宏勋
申请(专利权)人:宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司
类型:实用新型
国别省市:97[中国|宁波]

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