用于吸收滑轨变形的具有柔性机构模块的样品运送平台制造技术

本发明专利技术涉及用于吸收滑轨变形的具有柔性机构模块的样品运送平台， 包括安装成相互交叉方向的移动部件，由此安装在底座上并沿第一导块移动的 第一滑轨，以及安装在第一滑轨上并沿第二导块移动的第二滑轨；经由样品台 运送样品的运送部件，通过柔性机构模块安装形成在第二滑轨上，并且通过在 相互垂直方向上安装在样品台上的X、Y条镜测量位移；测量部件，通过激光头、 光束分配器以及安装在移动部件的操作路径上的干扰计扩散，并且通过从接收 器接收由X、Y条镜反射的输入束干涉信号形成输出位移信号；由于滑轨产生的 变形不被传送至样品台，镜子和样品的变形偏差减少，由于镜子和样品的相对 距离固定，测量准确性提高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于用于半导体I^FPD (平板显示器)的检査仪器或精密加工设 备的样品皿平台，尤其是关于，具有柔性机构以吸收滑轨(slide)变形的样 品运送平台，目点在于通过防止样品ii^平台的滑轨发生的变形，提高测量精 确度。
技术介绍
通常，样品运送平台是用于半导体或FPD (平板显示器)的检查仪器或精密加工设备，用于加载以及运送测ay处理物体(以下被称为'平台')至所想要位置的设备；以及用于激光位移测量系统，以分析位移信号,该信号Mil入射至镜子的激光束以及镜子反射的激光束间的干涉测量。例如，按照图l，样品运送平台(100)由--主体部分组成，该主体部分包 括在相互交叉方向上的由X、 Y导轨(111、 112)导向的X、 Y滑轨(113、 114)， 样品台(116)安装在Jl^Y滑轨(114)上并移动样品(115) , X、 Y条镜(bar mirror)在相互垂直的方向上附着在J^样品台(116)上；以及一测量部分，包括干扰计(133)以扩歉、Y光束，该光束由安装在 —bi主体部分的操作路^i:的激光头(131)产生并由光束^fB器(132)分配， ,、 Y条镜(117、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用柔性机构模块吸收滑轨变形的样品运送平台以及它的三个部件；　被安装成相互交叉方向的移动部件，安装在底座（１０）上并沿第一导块（２１）移动的第一滑轨（２０），以及安装在所述第一滑轨（２０）上并沿第二导块（３２）移动的第二滑轨（３０） ；　运送部件，其通过与柔性机构模块（５０）一起安装形成在所述第二滑轨（３０）上的样品台（４０）运送样品（４１），并且通过在相互垂直方向上安装在所述样品台（４０）上的Ｘ、Ｙ条镜（４２、４３）测量位移；以及　测量部件，通过激光头（６ １）、束分配器（６２）、以及安装在所述移动部件的操作路径上的干涉计（６３）进行扩散，以及通过从接收器（...

【技术特征摘要】
2007.8.20 KR 10-2007-0083496;2008.1.17 KR 10-2008-1. 一种用柔性机构模块吸收滑轨变形的样品运送平台以及它的三个部件；被安装成相互交叉方向的移动部件，安装在底座(10)上并沿第一导块(21)移动的第一滑轨(20)，以及安装在所述第一滑轨(20)上并沿第二导块(32)移动的第二滑轨(30)；运送部件，其通过与柔性机构模块(50)一起安装形成在所述第二滑轨(30)上的样品台(40)运送样品(41)，并且通过在相互垂直方向上安装在所述样品台(40)上的X、Y条镜(42、43)测量位移；以及测量部件，通过激光头(61)、束分配器(62)、以及安装在所述移动部件的操作路径上的干涉计(63)进行扩散，以及通过从接收器(62)接收由所述X、Y条镜(42、43)反射的输入光束干涉信号把输出转变成位移信号。2. 如权利要求1所述的柔性机构模块(50)，其特征在于，所述的柔性机 构模块(50)具有沿上和下方向上以确定间隔均匀穿透所述第二滑轨(30)上 面的多个减震孔(53);以及多个被切割成在所述减震孔(53)中心处相遇的 变形线(54)，并且提供桥部件和其上安装所述样品台(40)的安装部件的变 形空间；并且是样品ilit平台，具有按照先前描述的形式的特性，以致为了滑轨变 形吸收的目的使用柔性机构模块。3. 如权禾腰求1或2所述的柔性机构模块(50)，其特征在于，所述的柔 性机构模块(50)是用柔性机构模块吸收滑轨变形的样品运送平台，具有形成 在所述第二滑轨(30)的四角上的特征。4. 如权利要求1或2所述的柔性机构模块(50)，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑勳泽，权大甲，金正才，崔荣满，安多训，
申请(专利权)人：循环工程株式会社，韩国科学技术研究院，
类型：发明
国别省市：KR