一种柔性掩膜与电池片的对位方法和对位系统技术方案

本发明专利技术公开一种柔性掩膜与电池片的对位方法和对位系统，涉及太阳能电池技术领域，用于解决柔性掩膜与电池片对位精度差的问题。对位方法包括：提供一电池片，其上具有至少两个对位标记；将柔性掩膜置于激光刻划平台，基于其所在的第一坐标系，使用激光在柔性掩膜上刻划出至少两个参考标记以及掩膜图案，其中，参考标记用于与对位标记进行对位；基于第一坐标系和第二坐标系之间对应关系，在第一坐标系下移动激光刻划平台，使参考标记移动至第一目标位置，并在图像识别装置生成的第二坐标系下移动电池片，图像识别装置识别对位标记的位置，使其移动至第二目标位置，两个目标位置在两个坐标系中的坐标一致；将电池片贴合于柔性掩膜上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池，尤其涉及一种柔性掩膜与电池片的对位方法和对位系统。

技术介绍

1、在太阳能电池片的制作过程中，在制作太阳能电池片上的图案化的膜层，例如金属电极时，会用到图案化的柔性掩膜，具体是，在柔性掩膜图形化完成后，需要将电池片与柔性掩膜的图形对位并将柔性掩膜贴附在电池片表面，接下来，在图案化的柔性掩膜上沉积金属层；接下来，去除图案化的柔性掩膜，以形成金属电极。在太阳能电池片上，图案化的膜层的形成位置尤其重要，然而，现有技术通过图像识别装置分别对电池片和柔性掩膜上的对比标记进行识别，之后，利用对比标记实现电池片与图案化的柔性掩膜的对位，而目前这种对位方式使得整个系统定位精度要综合两步图像识别的误差。假如两步图像识别的精度分别为±50μm和±30μm，最终对位偏差的范围就是±80μm，不能满足柔性掩膜与电池片的对位的精度要求。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种柔性掩膜与电池片的对位方法和对位系统，以提高对位精度。

2、第一方面，本专利技术提供一种柔性掩膜与电池片的对位方法，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种柔性掩膜与电池片的对位方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，所述第一坐标系和所述第二坐标系的对应关系的建立过程包括：

3.根据权利要求2所述的对位方法，其特征在于，所述通过所述图像识别装置识别位于所述第一基准坐标的所述第一基准标记包括：

4.根据权利要求2或3所述的对位方法，其特征在于，所述第一基准标记的形状与所述参考标记和所述对位标记的形状均相同。

5.根据权利要求2或3所述的对位方法，其特征在于，所述替代薄片为透明薄片，所述第一基准标记沿所述替代薄片的厚度方向贯通设置或所述第一基准标记设置于所述...

【技术特征摘要】

1.一种柔性掩膜与电池片的对位方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，所述第一坐标系和所述第二坐标系的对应关系的建立过程包括：

3.根据权利要求2所述的对位方法，其特征在于，所述通过所述图像识别装置识别位于所述第一基准坐标的所述第一基准标记包括：

4.根据权利要求2或3所述的对位方法，其特征在于，所述第一基准标记的形状与所述参考标记和所述对位标记的形状均相同。

5.根据权利要求2或3所述的对位方法，其特征在于，所述替代薄片为透明薄片，所述第一基准标记沿所述替代薄片的厚度方向贯通设置或所述第一基准标记设置于所述替代薄片的远离所述激光刻划平台的一侧表面；

6.根据权利要求2所述的对位方法，其特征在于，所述基于所述第一坐标系和第二坐标系之间的对应关系，具体包括：

7.根据权利要求6所述的对位方法，其特征在于，所述基于所述第一基准坐标、所述第二基准坐标、所述第一相对位置关系和所述第二相对位置关系，得到所述第一目标位置在所述第一坐标系中的第一目标坐标以及所述第二目标位置在所述第二坐标系中的第二目标坐标，满足以下关系：

8.根据权利要求2、3、6或7所述的对位方法，其特征在于，所述第一基准标记和所述参考标记在所述第一坐标系中的坐标一致，所述第二基准标记和所述对位标记在所述第二坐标系中的坐标一致；

9.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，所述在所述第一坐标系下移动承载有所述柔性掩膜的所述激光刻划平台，使所述参考标记移动至所述第一目标位置，并在所述图像识别装置生成的所述第二坐标系下移动所述电池片，在移动所述电池片的过程中，所述图...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡永安，程彦江，袁建辉，王志强，徐希翔，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：