【技术实现步骤摘要】
本专利技术总体涉及纳米材料及其制备，特别是涉及一种二维材料薄膜卷对卷连续制备装置和方法。
技术介绍
1、石墨烯自2004年发现以来，就以其特殊的结构和性质取得了广泛的关注。伴随着石墨烯的研究热潮，二维材料这个概念也被提出。在二维材料中，电子仅可以在两个维度的纳米尺度上自由运动，由此带来了诸多奇特的性质和优异的性能，如可调带隙、光电响应、高载流子迁移率、高透光率以及高力学强度等等。随着相关研究的推进和深入，越来越多的二维材料被分离出来，并应用在透明导电、新能源材料、电子器件、光电探测等诸多领域。然而，二维材料要想真正走向产业化应用，规模化的制备是必不可少的关键步骤。
2、化学气相沉积(cvd)法是应用于制备二维材料薄膜最广泛的方法，其中低压cvd(lpcvd)法生长的二维材料薄膜质量优于常压cvd(apcvd)法和开放cvd(opcvd)法。为了得到高质量的二维材料薄膜，往往采用lpcvd法，该法需要在真空系统中完成cvd生长过程。并且，由于大部分二维材料薄膜的质量对生长腔体真空度极为敏感，因此在生产中维护生长腔体真空度是确保...
【技术保护点】
1.一种二维材料薄膜卷对卷连续制备装置，包括：
2.根据权利要求1所述的二维材料薄膜卷对卷连续制备装置，其中，所述放卷辊和所述收卷辊中每一者均包括一个所述第一腔内部分和两个所述第一腔外部分，两个所述第一腔外部分与所述第一腔内部分对应地在所述生长腔体的两侧对称放置以为所述腔内部分提供双侧磁吸作用。
3.根据权利要求2所述的二维材料薄膜卷对卷连续制备装置，其中，各所述第一腔内部分还包括：两个内轮，分别固定于所述转轴的两端，各所述内轮的至少一部分与所述生长腔体的内壁接触；以及两组内磁体，分别设置在所述两个内轮上，每组内磁体包括至少一个内磁体；
...【技术特征摘要】
1.一种二维材料薄膜卷对卷连续制备装置，包括：
2.根据权利要求1所述的二维材料薄膜卷对卷连续制备装置，其中，所述放卷辊和所述收卷辊中每一者均包括一个所述第一腔内部分和两个所述第一腔外部分，两个所述第一腔外部分与所述第一腔内部分对应地在所述生长腔体的两侧对称放置以为所述腔内部分提供双侧磁吸作用。
3.根据权利要求2所述的二维材料薄膜卷对卷连续制备装置，其中，各所述第一腔内部分还包括：两个内轮，分别固定于所述转轴的两端，各所述内轮的至少一部分与所述生长腔体的内壁接触；以及两组内磁体，分别设置在所述两个内轮上，每组内磁体包括至少一个内磁体；
4.根据权利要求3所述的二维材料薄膜卷对卷连续制备装置，其中，相对的所述内轮和所述外轮的形状被配置为所述内轮和所述外轮在垂直于所述转轴的平面上的投影相匹配；
5.根据权利要求1-4中任一项所述的二维材料薄膜卷对卷连续制备装置，其中，所述控制系统包括：
6.根据权利要求5所述的二维材料薄膜卷对卷连续制备装置，其中，所述控制系统还包括：
7.根据权利要求1-4中任一项所述的二维材料薄膜卷对卷连续制备装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：周维亚，岳盈，王艳春，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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