下载一种二维材料薄膜卷对卷连续制备装置和方法的技术资料

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本发明提供了一种二维材料薄膜卷对卷连续制备装置和方法。在该制备装置中,放卷辊和收卷辊均包括置于生长腔体内的第一腔内部分和置于生长腔体外的第一腔外部分,第一腔内部分包括用于卷绕衬底的转轴,第一腔外部分包括用于驱动转轴旋转的电机,放卷辊和收卷辊...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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