【技术实现步骤摘要】
本技术涉及准分子激光器定位，尤其涉及一种准分子激光光源光刻机光路定位的结构。
技术介绍
1、准分子激光器是光刻机的重要组成部分，是主要光刻机生产作业的主要光源，其本体与光刻机本体是分离状态，所以需要对其更精准定位，确保光刻机的正常运行，提高生产效率和高质量产出。
2、由于现有的准分子激光器一般是用量尺、水平仪等工具来进行准分子激光器的定位，而且经常需要反复测量和调整，同时，肉眼观察和评估位置和高度也是常见的操作方式，而且误差不可控制，这样做不仅会耗费大量的时间和人力，而且定位精度还不能完全保证。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有设备在使用时，由于用量尺、水平仪等工具来进行准分子激光器定位，且导致的误差不可控制的问题，而提出的一种准分子激光光源光刻机光路定位的结构。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种准分子激光光源光刻机光路定位的结构，包括有底板，所述底板的顶部固定安装有四个固定杆，四个所述固定杆的外表壁之间活动套设有升降板，所述底板的顶...
【技术保护点】
1.一种准分子激光光源光刻机光路定位的结构，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的顶部固定安装有四个固定杆(2)，四个所述固定杆(2)的外表壁之间活动套设有升降板(3)，所述底板(1)的顶部固定安装有四个气缸(4)，且四个气缸(4)的输出端均与升降板(3)的底部固定连接，四个所述固定杆(2)的外表壁均固定套设有限位环(5)，所述升降板(3)的顶部固定安装有两个正反电机(6)，两个所述正反电机(6)的外壁一侧均固定安装有螺纹杆(7)，两个所述螺纹杆(7)的外表壁均螺纹连接有移动柱(8)，所述升降板(3)的顶部固定安装有限位柱(9)，且两个螺纹杆(7)的外表壁均活动...
【技术特征摘要】
1.一种准分子激光光源光刻机光路定位的结构，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)的顶部固定安装有四个固定杆(2)，四个所述固定杆(2)的外表壁之间活动套设有升降板(3)，所述底板(1)的顶部固定安装有四个气缸(4)，且四个气缸(4)的输出端均与升降板(3)的底部固定连接，四个所述固定杆(2)的外表壁均固定套设有限位环(5)，所述升降板(3)的顶部固定安装有两个正反电机(6)，两个所述正反电机(6)的外壁一侧均固定安装有螺纹杆(7)，两个所述螺纹杆(7)的外表壁均螺纹连接有移动柱(8)，所述升降板(3)的顶部固定安装有限位柱(9)，且两个螺纹杆(7)的外表壁均活动插设在限位柱(9)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种准分子激光光源光刻机光路定位的结构，其特征在于：两个所述移动柱(8)的顶部之间固定安装有操作板(10)，所述操作板(10)的顶部开设有两个条形槽(11)，两个所述条形槽(11)的内表壁均活动嵌设有l型滑块(12)。
3.根据权利要求2所述的一种准分子激光光源光刻机光路定位的结构，其特征在于：所述操作板(10)的顶部固定安装有固定板(13)，所述固定板(13)的外壁一侧固定安装有两个电动推杆(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨伟才，刘成林，付帅，
申请(专利权)人：上海健照半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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