背接触太阳能电池及其制备方法技术

技术编号:42475175 阅读:21 留言:0更新日期:2024-08-21 12:58
本发明专利技术公开了背接触太阳能电池及其制备方法,背接触太阳能电池包括:具有第一面和第二面的半导体基底,第一面包括第一区域、交错叠置区域和第二区域;第一面依次设有第二隧穿氧化层和第一掺杂晶硅层,第二面依次设有第一本征非晶硅层和第一掺杂非晶硅层或第一掺杂微晶硅层,交错叠置区域依次设有第一隧穿氧化层、第一本征多晶硅层、第三隧穿氧化层、第二掺杂晶硅层、第一掩膜层、第二本征非晶硅层和第二掺杂非晶硅层或第二掺杂微晶硅层,交错叠置区域还设有隔离槽。本发明专利技术解决了第一区域和第二区域交界处极性不同的膜层搭接造成的漏电问题,同时拓宽了第一区域和交错叠置区域的激光工艺窗口。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于太阳能电池,具体涉及一种背接触太阳能电池及其制备方法


技术介绍

1、选择性钝化接触技术对特定载流子的通过具有明显的选择性,允许其中一种载流子有效地通过,而对另一种载流子具有屏蔽作用,极大程度地减少了两种载流子的复合,能有效提高太阳能电池器件的光电转换效率。目前典型的选择性钝化接触太阳能电池包括两种,一种是隧穿氧化层钝化接触太阳能电池(tunnel oxide passivated contact,topcon),另一种是异质结太阳能电池(hetero-junction with intrinsic thin-layer,hit)。这两种电池结构都是双面电极结构,正面的遮光无法避免。将叉指背接触电池技术(interdigitated back contact,ibc)与topcon或者hjt技术融合的tbc(tunnel oxideback contact)或者hbc(hetero-junction back contact)技术进一步减少了ibc背面金属的复合。

2、传统的hbc电池结构的背面n区和p区分别采用i/n a-si:本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种背接触太阳能电池,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池,其特征在于,所述第一掺杂晶硅层、所述第二掺杂晶硅层均为N型掺杂晶硅层,所述第一掺杂非晶硅层、所述第二掺杂非晶硅层均为P型掺杂非晶硅层,或所述第一掺杂微晶硅层、所述第二掺杂微晶硅层均为P型掺杂微晶硅层;

3.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池,其特征在于,所述第一隧穿氧化层的厚度为1nm-4nm;

4.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池,其特征在于,所述第一隧穿氧化层、所述第二隧穿氧化层和所述第三隧穿氧化层各自独立地包括隧穿SiOx层;

5.根据权利要...

【技术特征摘要】

1.一种背接触太阳能电池,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池,其特征在于,所述第一掺杂晶硅层、所述第二掺杂晶硅层均为n型掺杂晶硅层,所述第一掺杂非晶硅层、所述第二掺杂非晶硅层均为p型掺杂非晶硅层,或所述第一掺杂微晶硅层、所述第二掺杂微晶硅层均为p型掺杂微晶硅层;

3.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池,其特征在于,所述第一隧穿氧化层的厚度为1nm-4nm;

4.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池,其特征在于,所述第一隧穿氧化层、所述第二隧穿氧化层和所述第三隧穿氧化层各自独立地包括隧穿siox层;

5.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池,其特征在于,所述交错叠置区域与所述半导体基底的沿所述第一方...

【专利技术属性】
技术研发人员:李云朋叶枫朱琳赵生梁方亮徐希翔
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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