【技术实现步骤摘要】
本申请涉及硅片生产设备的,尤其涉及一种料托组件及具有其的清洗设备。
技术介绍
1、在大尺寸单晶硅片的生产过程中,硅棒经过金刚线切割被制作为薄片,之后需要脱胶处理,再将单晶硅片进行清洗和烘干,制造为合格单晶硅片,此单晶硅片作为太阳能电池制造的基础原料,在太阳能发电领域具有重要作用。
2、在单晶硅片脱胶过程之后,由于硅片表面存在较多的杂质,通常需要对硅片进行清洗。进行脱胶处理后的硅片叠置粘连在一起,进行清洗前需要将硅片进行分开,以便于后续的完全清洗处理。由于硅片的厚度较小,硅片整体较薄,而质量较大,所以需要采用料托结构进行硅片的承载,然后在分片池内进行分片处理,分片池内具有缓冲作用的大量液体,便于分片。现有技术中的料托结构仅用于承载,料托结构上的硅片会随着重力的作用,沉在底部,这就导致进行清洗作业时,无法完全出料。采用人工进行硅片的捞取较为困难,还会影响硅片清洗的效率。
技术实现思路
1、本申请提供了一种料托组件及具有其的清洗设备,以解决现有技术中对需要除胶后的硅片进行分片时,硅片
...【技术保护点】
1.一种料托组件,用于硅片的装载运输,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的料托组件,其特征在于,相邻所述立板(12)相互平行地设置,所述立板(12)的一侧设置有限位结构(14),沿靠近所述限位结构(14)至远离所述限位结构(14)的方向,所述承载面(21)与所述底板(11)之间的距离逐渐增大。
3.根据权利要求2所述的料托组件,其特征在于,所述架体(10)设置有顶板(15),所述顶板(15)分别与所述立板(12)远离所述底板(11)的一端固定连接,所述限位结构(14)与所述顶板(15)连接。
4.根据权利要求3所述的料托组件
...【技术特征摘要】
1.一种料托组件,用于硅片的装载运输,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的料托组件,其特征在于,相邻所述立板(12)相互平行地设置,所述立板(12)的一侧设置有限位结构(14),沿靠近所述限位结构(14)至远离所述限位结构(14)的方向,所述承载面(21)与所述底板(11)之间的距离逐渐增大。
3.根据权利要求2所述的料托组件,其特征在于,所述架体(10)设置有顶板(15),所述顶板(15)分别与所述立板(12)远离所述底板(11)的一端固定连接,所述限位结构(14)与所述顶板(15)连接。
4.根据权利要求3所述的料托组件,其特征在于,所述限位结构(14)为软管。
5.根据权利要求4所述的料托组件,其特征在于,所述活动底托(20)对应所述立板(12)设置有第一配合部(22),所述第一配合部(22)至少部分环绕所述立板(12),所述立板(12)可相对所述第一配合部(22)沿垂直于所述底板(11)的方向滑动。
6.根据权利要求5所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵旺,张娟宁,齐成天,杨正文,鲍正浩,
申请(专利权)人:安徽清电硅业有限公司,
类型:新型
国别省市:
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