【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体检测,具体涉及一种基于双光路校正的腔衰荡系统及气体测量方法。
技术介绍
1、腔衰荡光谱检测技术作为当今痕量温室气体光谱检测方式中精度最高、检测限最低的一种,相较于常见的质谱-色谱法、可调谐半导体激光吸收光谱法以及离轴积分腔光谱法等,其具有免疫激光强度波动、吸收光程长、灵敏度高等优点。
2、腔衰荡光谱检测技术通常由两块或若干具有高反射率的镜片构成谐振腔,通过调谐激光器的波长使得激光束经过一系列外部准直和偏振光路进入谐振腔内由待测气体吸收,最后由谐振腔出射端的探测器捕捉经吸收后的光信号进行浓度测算。
3、通过腔衰荡光谱检测技术的原理可知,光腔衰荡系统是通过入射激光在衰荡腔内的多次反射来实现超长吸收光程(10-100km不等),从而具有更低的检出限和检测精度,这就需要整个光路系统的稳定性和高可靠性。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于:提供一种基于双光路校正的腔衰荡系统及气体测量方法,解决现有技术腔衰荡光路系统稳定性和可靠性差技术问题。
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【技术保护点】
1.一种基于双光路校正的腔衰荡系统,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的一种基于双光路校正的腔衰荡系统,其特征在于,所述第一测量光路系统包括:第一近红外DFB激光器(1)、第一反馈率控制模块、第一模式匹配透镜(8)、第一带电动调节结构的二向色镜(9)、谐振腔(14),第一聚焦透镜(20)和第一光电探测器(21)。
3.如权利要求2所述的一种基于双光路校正的腔衰荡系统,其特征在于,所述第一反馈率控制模块包括:第一1/2波片(2)、偏振分束器(3)和第一1/4波片(6)。
4.如权利要求3所述的一种基于双光路校正的腔衰荡系统,其特
...【技术特征摘要】
1.一种基于双光路校正的腔衰荡系统,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的一种基于双光路校正的腔衰荡系统,其特征在于,所述第一测量光路系统包括:第一近红外dfb激光器(1)、第一反馈率控制模块、第一模式匹配透镜(8)、第一带电动调节结构的二向色镜(9)、谐振腔(14),第一聚焦透镜(20)和第一光电探测器(21)。
3.如权利要求2所述的一种基于双光路校正的腔衰荡系统,其特征在于,所述第一反馈率控制模块包括:第一1/2波片(2)、偏振分束器(3)和第一1/4波片(6)。
4.如权利要求3所述的一种基于双光路校正的腔衰荡系统,其特征在于,第一近红外dfb激光器(1)发出的出射光经第一反馈率控制模块后,通过第一模式匹配透镜(8)、第一带电动调节结构的二向色镜(9)进入谐振腔(14),随后沿谐振腔(14)的出射端出射,经第一聚焦透镜(20)后进入第一光电探测器(21)。
5.如权利要求1所述的一种基于双光路校正的腔衰荡系统,其特征在于,所述第二测量光路系统包括:第二近红外dfb激光器(5)、第二反馈率控制模块、第二模式匹配透镜(18)、第二带电动调节结构的二向色镜(17)、谐振腔(...
【专利技术属性】
技术研发人员:张俊龙,张苏豪,郑昌军,朱湘飞,刘欣欣,
申请(专利权)人:武汉敢为科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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