一种卧式外延炉传输腔的启闭结构制造技术

本技术属于启闭结构技术领域，具体的说是一种卧式外延炉传输腔的启闭结构，包括：传输腔本体；嵌入连接在传输腔本体表面中部的阀板；固接在传输腔本体侧壁上的支架模组；用于连接阀板与支架模组的翻转架；利用气缸输出，带动翻转架一端向下转动，而由于杠杆原理，翻转架的另一端向上转动，从而能够将与翻转架固接的阀板抬起，实现开启阀板的功能，且由于连接翻转架的支架模组布置在传输腔本体侧壁上，因此在翻转架另一端向上转动时，阀板有足够的翻转范围，至少能满足阀板转动80°，相对于现有阀板的启闭方式，该种启闭结构能够将阀板开启更大角度，得到更大的操作空间，从而方便人工进入传输腔本体进行清洁。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于启闭结构，具体的说是一种卧式外延炉传输腔的启闭结构。

技术介绍

1、前我国市面上主流的卧式碳化硅外延炉基本不都是基于lpe开发的产品进行设计的，卧式外延炉在使用一段时间后需要对腔体内部清理，减少沉积物对外延片的影响。

2、而目前市面上的外延炉传输腔结构设计比较紧凑，在阀盖翻转结构上采用氮气弹簧作为动力源驱动阀板进而实现阀板的启闭动作，但缺点是因空间受限，氮气弹簧的行程很短，因此阀盖只能翻转40度左右，因此清理沉积物的操作空间受到了限制，增加了人为清理沉积物的难度

3、为此，本技术提供一种卧式外延炉传输腔的启闭结构。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种卧式外延炉传输腔的启闭结构，包括：

3、传输腔本体；

4、嵌入连接在传输腔本体表面中部的阀板；

5、固接在传输腔本体侧壁上的支架模组；

6、用于连接阀板与支架模组本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种卧式外延炉传输腔的启闭结构，包括：

2.根据权利要求1所述的一种卧式外延炉传输腔的启闭结构，其特征在于：所述支架模组包括支撑板（8），且支撑板（8）固接在传输腔本体（1）的侧壁上；所述支撑板（8）上固接有两个梁杆；两个所述梁杆的顶部之间插接有销轴（4）；所述翻转架（3）的一端与销轴（4）铰接；所述梁杆设置为直杆状。

3.根据权利要求2所述的一种卧式外延炉传输腔的启闭结构，其特征在于：所述翻转架（3）相邻于气缸（5）输出端的一端转动连接有驱动轴（7）；所述驱动轴（7）与气缸（5）输出端固接。

4.根据权利要求2所述的一种卧式外延炉传输腔的启闭结构...

【技术特征摘要】

1.一种卧式外延炉传输腔的启闭结构，包括：

2.根据权利要求1所述的一种卧式外延炉传输腔的启闭结构，其特征在于：所述支架模组包括支撑板（8），且支撑板（8）固接在传输腔本体（1）的侧壁上；所述支撑板（8）上固接有两个梁杆；两个所述梁杆的顶部之间插接有销轴（4）；所述翻转架（3）的一端与销轴（4）铰接；所述梁杆设置为直杆状。

3.根据权利要求2所述的一种卧式外延炉传输腔的启闭结构，其特征在于：所述翻转架（3）相邻于气缸（5）输出端的一端转动连接有驱动轴（7）；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡动力，王人松，张小东，
申请(专利权)人：连科半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：