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本技术属于启闭结构技术领域，具体的说是一种卧式外延炉传输腔的启闭结构，包括：传输腔本体；嵌入连接在传输腔本体表面中部的阀板；固接在传输腔本体侧壁上的支架模组；用于连接阀板与支架模组的翻转架；利用气缸输出，带动翻转架一端向下转动，而由于杠杆原...
该专利属于连科半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过连科半导体有限公司授权不得商用。

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