【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶体生长装置，尤其涉及一种便于拆卸的坩埚及包含其的晶体生长装置。
技术介绍
1、碳化硅(sic)晶体是一种重要的半导体材料，广泛用于高功率电子器件、光电子器件等领域。碳化硅晶体生长装置是用于在实验室或工业生产中制备碳化硅单晶的设备。在碳化硅单晶生长过程中，需要使用坩埚来容纳硅源和其他生长材料，并确保晶体在适当的温度和条件下生长。
2、在碳化硅晶体生长装置中，坩埚是一个关键部件，用于容纳生长晶体的原料。在晶体生长完成后，操作人员需要打开坩埚以取出已生长好的碳化硅晶体。然而，常常存在这样的问题：由于坩埚的上盖和埚体螺纹连接拧得太紧，操作人员在长晶完成后难以打开坩埚。这增加了操作的复杂性，并降低了生产效率。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的缺陷，本技术所要解决的技术问题在于提出一种便于拆卸的坩埚及包含其的晶体生长装置，能够解决操作人员在晶体生长装置长晶完成后由于内部的坩埚的上盖和埚体螺纹连接拧的紧所导致的坩埚上盖难以打开的使用问题。
2、为达此目的，本技术采
【技术保护点】
1.一种便于拆卸的坩埚，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的便于拆卸的坩埚，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的便于拆卸的坩埚，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的便于拆卸的坩埚，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的便于拆卸的坩埚，其特征在于：
6.根据权利要求1所述的便于拆卸的坩埚，其特征在于：
7.根据权利要求1所述的便于拆卸的坩埚，其特征在于：
8.一种晶体生长装置，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的晶体生长装置，其特征在于：
10.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种便于拆卸的坩埚，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的便于拆卸的坩埚，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的便于拆卸的坩埚，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的便于拆卸的坩埚，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的便于拆卸的坩埚，其特征在于：
【专利技术属性】
技术研发人员：王裕鑫，吴喜成，谢云生，
申请(专利权)人：富芯晶圆制造深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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