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本技术涉及一种便于拆卸的坩埚及包含其的晶体生长装置,坩埚包括上盖、埚体和施力件,施力件的上端设有施力部,上盖和埚体螺纹连接,上盖的中部和施力件螺纹连接,二者的螺纹连接的方向相反。该技术能够解决操作人员在晶体生长装置长晶完成后由于内部的坩埚的...该专利属于富芯晶圆制造(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过富芯晶圆制造(深圳)有限公司授权不得商用。
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本技术涉及一种便于拆卸的坩埚及包含其的晶体生长装置,坩埚包括上盖、埚体和施力件,施力件的上端设有施力部,上盖和埚体螺纹连接,上盖的中部和施力件螺纹连接,二者的螺纹连接的方向相反。该技术能够解决操作人员在晶体生长装置长晶完成后由于内部的坩埚的...