【技术实现步骤摘要】
【】本专利技术专利申请主张2023年09月05日提出申请的编号为63/536，603名称是”inspection system for centralbeam in foup”的美国专利临时申请案的国际优先权，前述案件的内容通过引用并入本文，并且成为说明书的一部分。本专利技术涉及一种支撑中柱的检测系统及检测方法，尤其涉及一种适用于基板载具中的支撑中柱的检测系统及支撑中柱的检测方法。
技术介绍
0、
技术介绍
1、在半导体制造相关
中，由于半导体基板具有输送需求，例如业界现有使用前开式晶圆传送盒(frontopening unified pod，foup)的大型基板载具，用来容置并输送多个半导体基板。在这样的基板载具中，在两侧的内部侧墙上等间距地设置有多个支撑片，用来支撑基板。然而随着基板尺寸的增加，仅由两侧支撑基板的方式已经无法承担荷重的需求条件，因此在基板载具中增加了中柱结构，用来提供更好的支撑性。
2、中柱结构包括多个等间隔设置的碳棒作为支撑件，用来分别支撑半导体基板。实际应用上，将此种大型基板容器用...
【技术保护点】
1.一种支撑中柱检测系统，适用于检测基板载具的至少一支撑中柱，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的支撑中柱检测系统，其特征在于，包括：升降模块，连接于基座，所述推移件、所述动力模块及所述偏移传感器设置于所述基座上，所述升降模块用以带动所述基座垂直移动。
3.如权利要求2所述的支撑中柱检测系统，其特征在于：所述支撑中柱的数量为多个且呈平行设置，所述升降模块藉由移动所述基座，朝移动方向依序检测所述多个支撑中柱，以取得对应检测的所述偏移量。
4.如权利要求1所述的支撑中柱检测系统，其特征在于，包括：控制模块，讯号连接于所述动力模块与...
【技术特征摘要】
1.一种支撑中柱检测系统，适用于检测基板载具的至少一支撑中柱，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的支撑中柱检测系统，其特征在于，包括：升降模块，连接于基座，所述推移件、所述动力模块及所述偏移传感器设置于所述基座上，所述升降模块用以带动所述基座垂直移动。
3.如权利要求2所述的支撑中柱检测系统，其特征在于：所述支撑中柱的数量为多个且呈平行设置，所述升降模块藉由移动所述基座，朝移动方向依序检测所述多个支撑中柱，以取得对应检测的所述偏移量。
4.如权利要求1所述的支撑中柱检测系统，其特征在于，包括：控制模块，讯号连接于所述动力模块与所述偏移传感器，用以控制所述动力模块与所述偏移传感器的运作，所述支撑中柱的数量为多个且呈平行设置，所述控制模块以所述多个支撑中柱中最底层或最顶层的所述支撑中柱的侧壁平面为所述偏移量的基准点，所述基准点作为其他层的所述支撑中柱的偏移检测标准。
5.如权利要求4所述的支撑中柱检测系统，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱铭干，潘咏晋，吴孟諴，黄子宁，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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