下载支撑中柱检测系统及支撑中柱检测方法的技术资料

文档序号:42409421

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本发明公开了一种支撑中柱检测系统及支撑中柱检测方法,用于检测一基板载具的至少一支撑中柱,支撑中柱检测系统包括:推移件、动力模块以及偏移传感器。推移件用于施加预设的推力至支撑中柱。动力模块用以带动推移件朝支撑中柱移动,使推移件施加推力于支撑中...
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