负压快速集中报警显示系统技术方案

本发明专利技术公开了一种种负压快速集中报警显示系统，包括FAB中控室、PLC机柜、电源、微压差变送器、空气采样嘴和负压探测器，微压差变送器、空气采样嘴和负压探测器均位于无尘室内，FAB中控室内设有负压报警压差显示装置和操作站，负压报警压差显示装置包括微压差表和警铃，PLC机柜分别连接操作站、微压差变送器和电源，负压探测器连接警铃和电源，空气采样嘴连接微压差表。本发明专利技术在原有设备基础上增加负压快速集中报警显示装置，确保自控系统故障时，操作员可在中控室快速检核微压差参数，快速在操作站调整相关新风电动风阀，能持续保持无尘室微压差和环境参数符合设计值，确保持续生产质量合格芯片，避免出现停产损失；中控制室集中报警、显示、控制，大大提高工作效率，节省人力成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于集成电路芯片制造超净厂房安装过程中的自动化，具体涉及一种负压快速集中报警显示系统。

技术介绍

1、一个大型集成电路芯片制造超净厂房的洁净度等级较高，如出现负压或微压差不符合设计值，会使得无尘室洁净度等级降低，芯片生产质量合格率降低，严重影响芯片生产。目前无尘室压差自控系统一般采用微压差变送器实时测试无尘室压差，经模块传输至plc机柜，自动调节相关电动风阀。plc机柜经通讯线、交换器传输至操作站，操作站显示屏可实时显示各无尘室微压差。自控系统设备线路等发生故障或采样口堵塞，操作站显示微压差参数可能不准确或不显示，因此，增设芯片厂无尘室负压快速集中报警显示装置很必要，以确保无尘室能持续生产质量合格产品。

2、以往芯片厂无尘室压差，仅仅依靠自控系统检测和自动控制，自控系统设备线路故障时，不能迅速确认负压报警、微压差参数，具体来说：1、无尘室负压或低于设定值不能快速报警；2、无尘室分散显示的微压差参数，不能快速反馈至中控室，每个无尘室分别查看记录微压差读数，耗时长、人力成本高；3、无尘室较长时间出现负压或低于设定值，无尘室洁净度等级降低，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种负压快速集中报警显示系统，其特征在于，包括FAB中控室、PLC机柜、电源、微压差变送器、空气采样嘴和负压探测器，所述微压差变送器、所述空气采样嘴和所述负压探测器均位于无尘室内，所述FAB中控室内设有负压报警压差显示装置和操作站，所述负压报警压差显示装置包括微压差表和警铃，所述PLC机柜分别连接所述操作站、所述微压差变送器和所述电源，所述负压探测器连接所述警铃和所述电源，所述空气采样嘴连接所述微压差表。

2.如权利要求1所述负压快速集中报警显示系统，其特征在于，所述负压探测器包括相互连接的继电器和微压差开关。

3.如权利要求1所述负压快速集中报警显示系统，其...

【技术特征摘要】

1.一种负压快速集中报警显示系统，其特征在于，包括fab中控室、plc机柜、电源、微压差变送器、空气采样嘴和负压探测器，所述微压差变送器、所述空气采样嘴和所述负压探测器均位于无尘室内，所述fab中控室内设有负压报警压差显示装置和操作站，所述负压报警压差显示装置包括微压差表和警铃，所述plc机柜分别连接所述操作站、所述微压差变送器和所述电源，所述负压探测器连...

【专利技术属性】
技术研发人员：王笠，王伯圣，
申请(专利权)人：上海精泰机电系统工程有限公司，
类型：发明
国别省市：