本发明专利技术公开了一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，属于真空蒸镀机技术领域，本发明专利技术包括修正板，所述修正板的外端固定连接有传动杆，且传动杆的上端通过轴承安装在衔接柱上，所述修正板位于真空蒸镀机本体内部蒸发坩埚和镀锅之间；还包括：所述修正板的中部开设有引导槽以及位于引导槽内部的延伸板，所述延伸板通过伸出引导槽的距离而改变修正板的遮挡面积；所述延伸板的内部固定连接有调控电机。该真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，能够在对不同产品进行镀膜时，需要根据产品的形状来更改修正结构的覆盖面积，进而以此来保证镀膜均匀，同时可以改变修正板自身的形状，提高自身形态变化的多样性，适应更多的镀膜场景。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空蒸镀机，具体为一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构。
技术介绍
1、真空蒸镀机是通过底部的蒸镀源，将镀层镀覆在蒸镀源上方伞状承载架中被镀件上的设备，而在实际蒸镀时，由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度较高，导致蒸镀源正对的承载架的中间层圈的待镀基材上的膜层较厚，而位于靠近承载架中心的被镀件与位于靠近承载架边缘的被镀件上的膜层较薄，因此蒸镀机为了让被镀件上的膜层厚度均匀，通常都会在承载架与蒸镀源之间安装镀膜修正板，从而用于遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正对的被镀件上的膜层的厚度，从而修正承载架上位于不同层圈的被镀件上的膜层厚度的差异。
2、如公开号为cn214271022u的一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构，由于第一支架和第二支架与真空腔体的内壁可拆卸连接、第一修正板和第二修正板可拆卸的连接在支杆的上端，第一支架远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆，第二支架远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆，连接方式均为可拆卸连接，方便更换第一修正板和第二修正板，修正板机构不使用时可以拆除，结构简单，操作方便。
>3、其中上述现有技本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，包括修正板（1），所述修正板（1）的外端固定连接有传动杆（2），且传动杆（2）的上端通过轴承安装在衔接柱（3）上，所述修正板（1）位于真空蒸镀机本体（4）内部蒸发坩埚和镀锅之间，所述传动杆（2）上方的衔接柱（3）贯穿安装在真空蒸镀机本体（4）上，且衔接柱（3）的顶部与直线推动部件相互连接，所述衔接柱（3）的内部固定连接有伺服电机（5），且伺服电机（5）的输出端与传动杆（2）的上端相互连接
2.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述引导槽（6）的内部沿着前后直线方向阵列均布有多个延伸板（7），且引...
【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，包括修正板（1），所述修正板（1）的外端固定连接有传动杆（2），且传动杆（2）的上端通过轴承安装在衔接柱（3）上，所述修正板（1）位于真空蒸镀机本体（4）内部蒸发坩埚和镀锅之间，所述传动杆（2）上方的衔接柱（3）贯穿安装在真空蒸镀机本体（4）上，且衔接柱（3）的顶部与直线推动部件相互连接，所述衔接柱（3）的内部固定连接有伺服电机（5），且伺服电机（5）的输出端与传动杆（2）的上端相互连接
2.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述引导槽（6）的内部沿着前后直线方向阵列均布有多个延伸板（7），且引导槽（6）内部的延伸板（7）外端均设置为弧形结构。
3.根据权利要求2所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述引导槽（6）内部均布的多个延伸板（7）相邻之间相互贴合，且延伸板（7）关于修正板（1）的横向中轴线对称分布。
4.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述延伸板（7）下端限位块（8）的外壁和容置槽（9）的内壁相互贴合，且限位块（8）和容置槽（9）之间连接的弹性元件为内置弹簧（10），并且限位块（8）通过内置弹簧（10）和容置槽（9）构成弹性伸缩结构。
5.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述导向部件（12）包括四个沿着调控电机（11）输出轴周向等角度均匀分布的导向臂，四个导向臂分别为第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）。
6.根据权利要求5所述的一种真空蒸镀机用可调式膜层厚度修正结构，其特征在于：所述第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）均为直线设置的杆状部件，且第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）远离调控电机（11）输出轴的一端为头部，第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）和第四导向杆（124）的头部均为球形结构，并且第一导向杆（121）、第二导向杆（122）、第三导向杆（123）...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝胜，薛蒙晓，叶思宇，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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