一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置，包括炉管以及连接在炉管一侧用于传输干氧气的主管路，所述主管路的下方连接有供应水氧气降低炉管裂管概率的水氧机构，所述水氧机构包括设置在主管路下方的水源瓶，在水源瓶的底部安装有用于汽化水体的加热圆座，在主管路上连接有引导部分干氧进入水源瓶内部与水蒸气混合形成水氧的分支管A，水源瓶的顶部安装有引导水氧进入主管路中的分支管B，在水源瓶的一侧安装有及时补充高温水体的预热组件。本发明专利技术利用水分的参与加快氧化层的生成速率，起到解决高温炸管的作用，另外能够及时往水源瓶内补充水体，且确保水源瓶内部水蒸气产生的连续性，同时保证干氧气进入水源瓶中与水蒸气混合的有效性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及炉管通氧，具体为一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置。

技术介绍

1、在topcon太阳能光伏电池制造行业的后硼扩氧化工序中，是需要往炉管中通入氧气，氧气在炉管内1045℃的高温下，沉积形成氧化层薄膜，附着在电池片的表面上，起到保护电池片pn结的作用。常规的氧气输送，是从外围经过氧气管道，连接到炉管尾部，向炉管内部通入氧气，此氧气也被称为干氧，但是炉管在长时间1045℃的高温炙烤下，使用寿命极短，经常发生高温炙烤导致的炉管破裂现象。若炉管破裂之后，就必须停机进行更换，不但产能受到影响，更换新炉管也增加了成本费。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置，以解决上述
技术介绍
中提出的炉管在长时间高温炙烤下导致破裂的问题。

2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置，包括炉管以及连接在炉管一侧用于传输干氧气的主管路，所述主管路的下方连接有供应水氧气降低炉管裂管概率的水氧机构；

3、所述水氧机构包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置，包括炉管(1)以及连接在炉管(1)一侧用于传输干氧气的主管路(2)，其特征在于：所述主管路(2)的下方连接有供应水氧气降低炉管(1)裂管概率的水氧机构(3)；

2.根据权利要求1所述的一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置，其特征在于：所述预热组件(305)包括安装在水源瓶(301)内部的水位传感器(3051)，在水源瓶(301)的一侧设置有过渡瓶(3052)，过渡瓶(3052)上连接有引导水体进入过渡瓶(3052)内部的供应管路(3053)，在过渡瓶(3052)上安装有根据水位传感器(3051)监测的水位状况往水源瓶(301)内部输送水体的抽取泵...

【技术特征摘要】

1.一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置，包括炉管(1)以及连接在炉管(1)一侧用于传输干氧气的主管路(2)，其特征在于：所述主管路(2)的下方连接有供应水氧气降低炉管(1)裂管概率的水氧机构(3)；

2.根据权利要求1所述的一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置，其特征在于：所述预热组件(305)包括安装在水源瓶(301)内部的水位传感器(3051)，在水源瓶(301)的一侧设置有过渡瓶(3052)，过渡瓶(3052)上连接有引导水体进入过渡瓶(3052)内部的供应管路(3053)，在过渡瓶(3052)上安装有根据水位传感器(3051)监测的水位状况往水源瓶(301)内部输送水体的抽取泵(3054)。

3.根据权利要求2所述的一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置，其特征在于：所述过渡瓶(3052)的底部安装有加热底座(3055)，且加热底座(3055)与水位传感器(3051)电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置，其特征在于：所述主管路(2)由进气管道(201)、可拆卸连接在进气管道(201)一端的三通结构(202)以及可拆卸连接三通结构(202)一端的汇总管路(203)；

5.根据权利要求4所述的一种后硼扩氧化工序炉管通氧装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张科，王永亮，
申请(专利权)人：滁州捷泰新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：