【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于纳电子学领域，是一种基于金属纳米间隙的原子尺度栅控开关器件的实现方法。
技术介绍
1、原子尺度栅控开关器件在纳电子学领域中具有重要的应用价值，优势包括：(1)可作为原子尺度器件，能够将设备的尺寸缩小到纳米级甚至原子尺度。(3)信号线和控制线是分开，可以通过独立的栅极来控制和切换通过原子级器件的电流，可构建于逻辑电路。(2)功耗非常小，尤其是关断过程。
2、制备技术通常基于电化学技术，其典型结构由电解质中的一个栅极和一个位于源极和漏极之间的qpc组成。两个金工作电极作为源极和漏极沉积在玻璃基板上，活跃金属线作为栅极。当在栅极施加相对于金电极的正电位时，在两个金电极上形成原子岛，两个岛最终通过形成原子级接触而最终导通。通过栅极电位的变化，开关在非导电“关断状态”和1g时的量子化“导通状态”之间切换。虽然原子栅控开关有以上优势，但其也存在制备工艺复杂、集成极为困难，器件耐久性较差等，例如，使用电解质聚合物制备的qpc器件，其材料无法与cmos工艺兼容，大规模器件阵列的制备较为困难。电解质的材质仍会对离子扩散产生影响，...
【技术保护点】
1.一种基于金属纳米间隙的栅控开关器件的实现方法，其步骤包括：
2.如权利要求1所述的基于金属纳米间隙的栅控开关器件的实现方法，其特征在于，步骤1)制备的金属电极对之间间隙的宽度范围为10nm至500nm。
3.如权利要求1所述的基于金属纳米间隙的栅控开关器件的实现方法，其特征在于，步骤1)中金属材料包括但不限于金、银、钯、铂、铝、钽或铟金属。
4.如权利要求1所述的基于金属纳米间隙的栅控开关器件的实现方法，其特征在于，步骤1)制备的金属电极对的厚度范围为10nm至1000nm，宽度范围为20-1000nm。
5.如权利...
【技术特征摘要】
1.一种基于金属纳米间隙的栅控开关器件的实现方法，其步骤包括：
2.如权利要求1所述的基于金属纳米间隙的栅控开关器件的实现方法，其特征在于，步骤1)制备的金属电极对之间间隙的宽度范围为10nm至500nm。
3.如权利要求1所述的基于金属纳米间隙的栅控开关器件的实现方法，其特征在于，步骤1)中金属材料包括但不限于金、银、钯、...
【专利技术属性】
技术研发人员：于达程，田仲政，任中阳，田姣姣，夏晨皓，任黎明，傅云义，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：
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