一种高软化点氧化硅的合成方法技术

技术编号:42371727 阅读:57 留言:0更新日期:2024-08-16 14:54
一种高软化点氧化硅的合成方法,属于二氧化硅制备工艺技术领域。该方法通过在合成石英砂的过程中添加少量钛化合物和/或锆化合物,显著提高了合成石英砂的致密度和软化点,特别是对于同时添加钛化合物和锆化合物的石英砂,具有更为优异的软化点和致密性。

【技术实现步骤摘要】

本发涉及合成氧化硅工艺,特别涉及一种高软化点氧化硅的合成方法


技术介绍

1、半导体和光伏分别占据全球高纯石英砂销量的36%和34%,成为石英砂需求量最大的两个行业。在半导体领域,高纯石英材料主要用于生产半导体硅片,通常要求石英砂的纯度在6n级以上。在光伏领域,石英砂主要用于制作拉制单晶硅棒的石英坩埚,为了保证单晶硅棒的性能以及石英坩埚的使用寿命,对石英砂的纯度、杂质、羟基、气液包裹体、粒度、一致性等都有严格的要求。

2、近几年,由于光伏技术的快速发展以及优质石英矿床资源的稀缺,高纯石英砂处于严重紧缺状态。随着需求量的增加以及价格的上涨,用于光伏领域石英砂的生产技术成为各大生产商的研究热点。日本三菱化学通过溶胶-凝胶法工艺得到纯度在6n级以上的合成二氧化硅,并将其用于半导体领域。受三菱化学的启发,科研工作者尝试用合成石英砂制作石英坩埚,通过进一步提高二氧化硅的纯度,降低羟基和气液包裹体的含量提高合成二氧化硅的性能,并将其用于制作石英坩埚。

3、申请人针对合成二氧化硅进行长期研究后发现,合成二氧化硅与天然形成的石英砂在内部结构上有着较本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,采用以下步骤:

2.根据权利要求1所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,焙烧温度为1400~1600 ℃。

3. 根据权利要求1所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,焙烧温度为1100~1300 ℃。

4.根据权利要求1-3任意一项所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,钛化合物和/或者锆化合物的添加量为0.0003~0.001%。

5.根据权利要求1-3任意一项所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,所述钛酸烷基酯选自钛酸四甲酯、钛酸四乙酯、钛酸四丙酯、钛酸四异丙酯、钛酸四丁酯中的...

【技术特征摘要】

1.一种高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,采用以下步骤:

2.根据权利要求1所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,焙烧温度为1400~1600 ℃。

3. 根据权利要求1所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,焙烧温度为1100~1300 ℃。

4.根据权利要求1-3任意一项所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,钛化合物和/或者锆化合物的添加量为0.0003~0.001%。

5.根据权利要求1-3任意一项所述高软化点氧化硅的合成方法...

【专利技术属性】
技术研发人员:邰志军胡一鸣高雪孙宏亮赵聪王蕊王吉祥王贤彬续晶华李进
申请(专利权)人:中触媒新材料股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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