【技术实现步骤摘要】
本发涉及合成氧化硅工艺,特别涉及一种高软化点氧化硅的合成方法。
技术介绍
1、半导体和光伏分别占据全球高纯石英砂销量的36%和34%,成为石英砂需求量最大的两个行业。在半导体领域,高纯石英材料主要用于生产半导体硅片,通常要求石英砂的纯度在6n级以上。在光伏领域,石英砂主要用于制作拉制单晶硅棒的石英坩埚,为了保证单晶硅棒的性能以及石英坩埚的使用寿命,对石英砂的纯度、杂质、羟基、气液包裹体、粒度、一致性等都有严格的要求。
2、近几年,由于光伏技术的快速发展以及优质石英矿床资源的稀缺,高纯石英砂处于严重紧缺状态。随着需求量的增加以及价格的上涨,用于光伏领域石英砂的生产技术成为各大生产商的研究热点。日本三菱化学通过溶胶-凝胶法工艺得到纯度在6n级以上的合成二氧化硅,并将其用于半导体领域。受三菱化学的启发,科研工作者尝试用合成石英砂制作石英坩埚,通过进一步提高二氧化硅的纯度,降低羟基和气液包裹体的含量提高合成二氧化硅的性能,并将其用于制作石英坩埚。
3、申请人针对合成二氧化硅进行长期研究后发现,合成二氧化硅与天然形成的石英
...【技术保护点】
1.一种高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,采用以下步骤:
2.根据权利要求1所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,焙烧温度为1400~1600 ℃。
3. 根据权利要求1所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,焙烧温度为1100~1300 ℃。
4.根据权利要求1-3任意一项所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,钛化合物和/或者锆化合物的添加量为0.0003~0.001%。
5.根据权利要求1-3任意一项所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,所述钛酸烷基酯选自钛酸四甲酯、钛酸四乙酯、钛酸四丙酯、钛酸四异
...【技术特征摘要】
1.一种高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,采用以下步骤:
2.根据权利要求1所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,焙烧温度为1400~1600 ℃。
3. 根据权利要求1所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,焙烧温度为1100~1300 ℃。
4.根据权利要求1-3任意一项所述高软化点氧化硅的合成方法,其特征在于,钛化合物和/或者锆化合物的添加量为0.0003~0.001%。
5.根据权利要求1-3任意一项所述高软化点氧化硅的合成方法...
【专利技术属性】
技术研发人员:邰志军,胡一鸣,高雪,孙宏亮,赵聪,王蕊,王吉祥,王贤彬,续晶华,李进,
申请(专利权)人:中触媒新材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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