本发明专利技术涉及数据处理技术领域，具体涉及一种半导体设备数据智能采集方法及系统，包括：根据每次采集的电压监测数据在不同分段的差异，获得每次采集过程中电压监测数据的数据变化独立性，从而根据与设备状态监测数据的数据变化独立性的差异，获得电压监测数据的变化形式差异性，结合每次采集过程中电压监测数据与每种环境监测数据的相关性，获得每次采集过程中电压监测数据的异常可信度，进而根据异常可信度和设备运行警告次数获得电压监测数据的数据干扰度，对电压监测数据进行平滑处理完成智能采集。本发明专利技术通过对半导体设备的电压检测数据与其他类型数据进行分析，避免了电压监测数据受到的干扰影响，提高数据采集的准确性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及数据处理，具体涉及一种半导体设备数据智能采集方法及系统。
技术介绍
1、半导体设备在现代工业生产中被广泛应用于电子器件制造、集成电路生产等领域；随着科技的不断进步，半导体设备的复杂性和产生的数据量也在不断的增加。有效的采集、处理和分析这些数据对于提高生产效率、优化设备维护和改进制造流程至关重要。
2、在维修和维护半导体设备的过程中，通过采集设备运行监测数据，可以更准确的诊断设备故障，并采取正确的维修措施，其中，半导体设备的电压监测数据对于半导体的运行状态起着重要作用。但在半导体设备的电压监测数据采集的过程中，可能受到多种因素的影响，其中包括传感器精度、环境条件以及采集系统中信号之间的干扰，均会导致采集到的数据产生误差；环境中的温度和湿度对半导体设备产生一定的影响，特别是一些涉及敏感材料或表面电荷的设备中，湿度过高可能会导致设备性能不稳定，甚至引起设备损坏；而环境中的电磁干扰会影响半导体设备中的电信号，导致错误信号被记录，从而影响采集到的数据的准确性。
技术实现思路
>1、本专利技术提供本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，所述获得每次采集过程中电压监测数据的数据变化独立性，包括的具体步骤如下：
3.根据权利要求2所述一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，所述局部段的具体获取方式如下：
4.根据权利要求2所述一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，所述电压差异指数的具体获取方式如下：
5.根据权利要求1所述一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，所述获得电压监测数据的变化形式差异性，包括的具体步骤如下：
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【技术特征摘要】
1.一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，所述获得每次采集过程中电压监测数据的数据变化独立性，包括的具体步骤如下：
3.根据权利要求2所述一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，所述局部段的具体获取方式如下：
4.根据权利要求2所述一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，所述电压差异指数的具体获取方式如下：
5.根据权利要求1所述一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，所述获得电压监测数据的变化形式差异性，包括的具体步骤如下：
6.根据权利要求1所述一种半导体设备数据智能采集方法，其特征在于，所述获得每次采集过程中电压监测数据的...
【专利技术属性】
技术研发人员：马炎星，
申请(专利权)人：深圳市川世达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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