温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及数据处理技术领域，具体涉及一种半导体设备数据智能采集方法及系统，包括：根据每次采集的电压监测数据在不同分段的差异，获得每次采集过程中电压监测数据的数据变化独立性，从而根据与设备状态监测数据的数据变化独立性的差异，获得电压监测数据的...
该专利属于深圳市川世达科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市川世达科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。