【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅长晶,尤其涉及一种裁剪模具。
技术介绍
1、在长晶行业内,热场对晶体的生长质量起着至关重要的作用,在热场的构成中,保温毡对温度分布的均一性有着决定性作用。常见的保温毡有石墨软毡和石墨硬毡(长纤和短纤)。在碳化硅长晶热场中,石墨软毡因优异的保温性和柔韧性,被广泛使用。其中,制作环形保温软毡的时候,需要根据实际需求调整环形裁刀的尺寸,同时还必须保证环形的同心度。
2、现有技术中,石墨软毡的裁剪过程包括两种。一种是使用圆规刀,根据需求,分两次裁剪得到环形软毡。该种裁剪过程存在如下问题:分两次裁剪,难以保证同心度,且定位和裁剪时间较长。另一种是使用单独(或者配合)的环形裁刀,部分尺寸实现一次裁剪,但不能实现全尺寸一次性裁剪。该种裁剪过程存在如下问题:非一次裁剪的环形软毡同心度差,无法实现一定尺寸范围内的全尺寸一次性裁剪。
3、因此,亟需一种裁剪模具,以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种裁剪模具,用于裁剪环形软毡,旨在提高环形软毡的
...【技术保护点】
1.裁剪模具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的裁剪模具,其特征在于,所述第一裁刀(200)包括第一环形支撑柱体(210)和第一环形裁刀件(220),所述第一卡固部(211)设于所述第一环形支撑柱体(210)的第一端,所述第一环形裁刀件(220)凸设于所述第一环形支撑柱体(210)的第二端,所述第一环形裁刀件(220)和所述第一环形支撑柱体(210)同轴设置;
3.根据权利要求2所述的裁剪模具,其特征在于,所述第一卡固部(211)设置为贯通所述第一环形支撑柱体(210)两侧的第一卡固槽;
4.根据权利要求3所述的裁剪模具,
...【技术特征摘要】
1.裁剪模具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的裁剪模具,其特征在于,所述第一裁刀(200)包括第一环形支撑柱体(210)和第一环形裁刀件(220),所述第一卡固部(211)设于所述第一环形支撑柱体(210)的第一端,所述第一环形裁刀件(220)凸设于所述第一环形支撑柱体(210)的第二端,所述第一环形裁刀件(220)和所述第一环形支撑柱体(210)同轴设置;
3.根据权利要求2所述的裁剪模具,其特征在于,所述第一卡固部(211)设置为贯通所述第一环形支撑柱体(210)两侧的第一卡固槽;
4.根据权利要求3所述的裁剪模具,其特征在于,所述第一卡固槽的槽底设有两个第一螺纹孔(212),两个所述第一螺纹孔(212)与其中一所述定位孔组的两个定位孔(111)一一对应,第一螺纹件螺接穿设于所述定位孔(111)和对...
【专利技术属性】
技术研发人员:乔建东,吴江,郭超,母凤文,
申请(专利权)人:青禾晶元天津半导体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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