上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器及其制作工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃边框所构成的密封真空腔；在阳极面板上有阳极导电层、阳极引线层、阳极隔离层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层，位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂；在阴极玻璃面板上有上悬侧栅控斜月型基底阴极结构；具有成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于真空科学与
、纳米科学与
以及平板显示
的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作，特别涉及到上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器及其制作工艺。
技术介绍
显示器件的主要功能就是进行图像的完美逼真显示，从而达到还原物体本身的目的。平面显示器件在最近几年中得到了快速的发展，这得益于平板显示器得天独厚的优势，诸如画面无闪烁、重量轻、外形美观、大面积性、功耗低、工作温区广、环保耐用等。场致发射显示器则是平板显示器件中的新型器件，由于它的阴极材料在不需要额外能量的情况下，仅仅依靠外加电压的强制作用就可以以"场致发射"的模式发射出大量电子，因此而命名。自碳纳米管材料被发现并被应用于场致发射显示器的阴极以来，对于碳纳米管阴极场致发射显示器的研究更得到了飞速的发展。 但是，对于目前的三极管结构的场致发射平板显示器而言，由于栅极结构的加入，从而产生了喜忧相半的结局。虽然随着栅极的加入，能够使得整体器件的工作电压有所减低，符合低压低成本器件的要求，但是，栅极结构加入所带来的制作工艺复杂性，制作材料要求的高标准性等副作用也不可忽视。就目前所研发的平板器件，普遍都存在着栅极工作电压过高、器件制作成本过高等不利因素，这在一定程度上阻碍了平板显示器件的发展，还需要投入大量的时间和财力加以解决，以促进平板显示器件的健康发展。当然，对于整体平板显示器件的制作，制作工艺简单、制作过程稳定可靠也是不可忽视的一个重要方面。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种制作过程稳定可靠、制作工艺简单、成本低廉的上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器及其制作工艺。 本专利技术的目的是这样实现的 —种上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃边框所构成的密封真空腔；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层、阳极引线层、阳极隔离层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层； 在阴极玻璃面板上设置有上悬侧栅控斜月型基底阴极结构；所述的上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的基底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成间隔层；间隔层上面存在阴极电极层；阴极电极层周围存在阴极引线层，阴极引线层和阴极电极层是相互连通的；阴极电极层上面存在阴极增高层，阴极增高层呈现半圆型形状，5其下表面为平面，和阴极电极层相互接触，其上表面为半圆型，在上表面的顶部存在一个向内的凹陷窝，凹陷窝呈现斜月型；阴极电极层上表面凹陷窝上面存在阴极度越层，阴极度越层布满阴极电极层上表面凹陷窝的表面；阴极度越层上面存在阴极牺牲层，阴极牺牲层呈现圆环型形状位于阴极度越层的表面，其圆环型形状的上边缘和阴极度越层的上边缘平齐，在阴极度越层的底部是没有阴极牺牲层的；阴极增高层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴分隔一层，栅阴分隔一层的下表面覆盖在阴极增高层的上表面，其上表面呈现与阴极增高层相同的半圆型形状，栅阴分隔一层不能覆盖阴极度越层和阴极牺牲层；栅阴分隔一层上面存在栅极电极层，栅极电极层覆盖在栅阴分隔一层的上表面，其前端延伸到阴极增高层上表面凹陷窝的上端，呈现悬空态；栅极电极层周围存在栅极引线层，栅极引线层和栅极电极层是相互连通的；栅极电极层和栅极引线层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴分隔二层，栅阴分隔二层要覆盖栅极电极层以及栅极引线层；碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面。 所述的阴极电极层为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一 ；阴极增高层为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一 ；阴极引线层为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一 ；阴极度越层为金属铁、钴、镍之一 ；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍之一 ；栅极电极层为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一 ；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一 ；栅极电极层的走向和阴极增高层的走向是相互垂直的。 所述的上悬侧栅控斜月型基底阴极结构包括阴极面板、间隔层、阴极电极层、阴极引线层、阴极增高层、阴极度越层、阴极牺牲层、栅阴分隔一层、栅极电极层、栅极引线层、栅阴分隔二层和碳纳米管部分。 阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。 —种所述的上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作步骤如下 1)阴极玻璃面板的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板； 2)间隔层的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成间隔层； 3)阴极电极层的制作在阴极玻璃面板制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极电极层； 4)阴极引线层的制作在阴极电极层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层； 5)阴极增高层的制作在阴极电极层上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层； 6)阴极度越层的制作在阴极增高层上表面的凹陷窝内制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极度越层； 7)阴极牺牲层的制作在阴极度越层上面制备出金属层，经常规刻蚀后形成阴极牺牲层； 8)栅阴分隔一层的制作在阴极增高层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴分隔一层； 9)栅极电极层的制作在栅阴分隔一层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极层； 10)栅极引线层的制作在栅极电极层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极引线层； 11)栅阴分隔二层的制作在栅极电极层和栅极引线层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴分隔二层； 12)上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的表面清洁处理对上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘； 13)碳纳米管的制备将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面； 14)阳极玻璃面板的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极面板； 15)阳极导电层的制作在阳极玻璃面板上制备出锡阴氧化物膜层，经刻蚀后形成阳极导电层； 16)阳极引线层的制作在阳极导电层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极引线层； 17)阳极隔离层的制作在阳极玻璃面板的非显示区域以及阳极导电层中间的空余位置印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极隔离层； 18)荧光粉层的制作在阳极玻璃面板显示区域中阳极导电层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层； 19)器件装配将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、支撑墙结构、四周玻璃边框装配到一起，并将消气剂附属元件安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定； 20)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺，形成成品件。 所述步骤17具体为在阳极面板的非显示区域以及阳极导电层中间的空余位置印刷绝缘浆料，经过烘烤，烘烤温度22(TC，保持时间5分钟，之后放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度58(TC，保持时间10分钟。 所述步骤18具体为在阳极面板显示区域中阳极导电层上面印刷荧光粉，在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度12(TC，保持时间10分钟。所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板（１３）、阴极玻璃面板（１）和四周玻璃边框（１７）所构成的密封真空腔；位于阳极玻璃面板（１３）和阴极玻璃面板（１）之间的支撑墙结构（１８）以及消气剂附属元件（１９）；设置在阳极玻璃面板（１３）上的阳极导电层（１４）、阳极引线层（２０）、阳极隔离层（１５）以及制备在阳极导电层（１４）上面的荧光粉层（１６）；其特征在于：在阴极玻璃面板（１）上设置有上悬侧栅控斜月型基底阴极结构；所述的上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的基底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成间隔层（２）；间隔层（２）上面存在阴极电极层（３）；阴极电极层（３）周围存在阴极引线层（４），阴极引线层（４）和阴极电极层（３）是相互连通的；阴极电极层（３）上面存在阴极增高层（５），阴极增高层（５）呈现半圆型形状，其下表面为平面，和阴极电极层（３）相互接触，其上表面为半圆型，在上表面的顶部存在一个向内的凹陷窝，凹陷窝呈现斜月型；阴极电极层（３）上表面凹陷窝上面存在阴极度越层（６），阴极度越层（６）布满阴极电极层（３）上表面凹陷窝的表面；阴极度越层（６）上面存在阴极牺牲层（７），阴极牺牲层（７）呈现圆环型形状位于阴极度越层（６）的表面，其圆环型形状的上边缘和阴极度越层（６）的上边缘平齐，在阴极度越层（６）的底部是没有阴极牺牲层（７）的；阴极增高层（５）上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴分隔一层（８），栅阴分隔一层（８）的下表面覆盖在阴极增高层（５）的上表面，其上表面呈现与阴极增高层（５）相同的半圆型形状，栅阴分隔一层（８）不能覆盖阴极度越层（６）和阴极牺牲层（７）；栅阴分隔一层（８）上面存在栅极电极层（９），栅极电极层（９）覆盖在栅阴分隔一层（８）的上表面，其前端延伸到阴极增高层（５）上表面凹陷窝的上端，呈现悬空态；栅极电极层（９）周围存在栅极引线层（１０），栅极引线层（１０）和栅极电极层（９）是相互连通的；栅极电极层（９）和栅极引线层（１０）上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴分隔二层（１１），栅阴分隔二层（１１）要覆盖栅极电极层（９）以及栅极引线层（１０）；碳纳米管（１２）制备在阴极牺牲层（７）的上面。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉魁，高宝宁，
申请(专利权)人：中原工学院，
类型：发明
国别省市：41[中国|河南]