【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及数据处理，尤其涉及一种数据处理方法、装置、设备及介质。
技术介绍
1、为保证半导体设备的稳定性和可靠性，在半导体设备出厂前，需要对半导体设备进行测试，测试合格的半导体设备可以进行后续流程，测试未合格的半导体设备需要返工处理。
2、现有技术中通常采用人工检测方式，即技术人员逐一查看各半导体设备的测试数据，并将这些测试数据记录在纸质文档中。测试数据的安全性较差，易被修改或替换，若测试数据被恶意修改，则可能会导致不合格的半导体设备出厂，危害生产作业安全。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种数据处理方法、装置、设备及介质，以提高测试数据的安全性。
2、第一方面，本专利技术提供了一种数据处理方法，包括：
3、获取至少一个候选设备型号的当前半导体设备的当前测试数据，和各候选设备型号的历史半导体设备的历史测试数据；各历史半导体设备的测试批次在当前半导体设备的测试批次之前；
4、针对每一候选设备型号，根据候选设备型号对应的历史测试数据，确定...
【技术保护点】
1.一种数据处理方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述历史测试数据包括历史半导体设备的测试批次和工艺测试数据；
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述工艺测试数据包括设定工艺数据和运行工艺数据；
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一特征向量、所述第二特征向量、所述第一提取向量和所述第二提取向量，确定加密密钥，包括：
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述候选设备型号对应的历史测试数据，确定所述候选设备型号的半导体设备的测试合格率，包括
6....
【技术特征摘要】
1.一种数据处理方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述历史测试数据包括历史半导体设备的测试批次和工艺测试数据；
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述工艺测试数据包括设定工艺数据和运行工艺数据；
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一特征向量、所述第二特征向量、所述第一提取向量和所述第二提取向量，确定加密密钥，包括：
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述候选设备型号对应的历史测试数据，确定所述候选设备型号的半导体设备的测试合格率，包括：
6.根据权利要求5...
【专利技术属性】
技术研发人员：王琳，孙文彬，
申请(专利权)人：无锡邑文微电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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