刻蚀设备制造技术

本技术涉及晶圆制造技术领域，具体公开了一种刻蚀设备，该刻蚀设备包括机架和电源柜，其中，机架的内部设有用于刻蚀的腔体；电源柜和机架二者中的一个设有安装槽，另一个设有盖合部，盖合部盖设于安装槽的开口并围成用于容纳元器件的电源腔体；电源柜的一侧设有铰接部，另一侧设有固接部；电源柜通过铰接部铰接于机架的外侧，且通过固接部与机架可拆卸连接，电源柜被布置成能贴合机架以围成电源腔体，或部分远离机架，以使得安装槽的开口敞开。上述设置降低了安装和维护的难度，改善用户使用体验。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆制造，尤其涉及一种刻蚀设备。

技术介绍

1、现有的用于晶圆加工的刻蚀设备主要使用的是卧式封闭的电源柜，且电源柜放置于刻蚀设备的机架内部。上述结构使得电源柜的散热效果较差，且在安装和维护电源柜内部的元器件时，需要拆开机架，在机架的内部进行操作，由于受到安装空间的限制，使得安装和维护的便利性大大降低，用户体验较差。

2、为此，亟需研究一种刻蚀设备，以改善安装和维护电源柜的内部元器件时的便利性。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种刻蚀设备，以改善安装和维护电源柜的内部元器件时的便利性较差的问题。

2、为达上述目的，本技术采用以下技术方案：

3、刻蚀设备，包括：

4、机架，所述机架的内部设有用于刻蚀的腔体；

5、电源柜，所述电源柜和所述机架二者中的一个设有安装槽，另一个设有盖合部，所述盖合部盖设于安装槽的开口并围成电源腔体；所述电源柜的一侧设有铰接部，另一侧设有固接部；所述电源柜通过所述铰接部铰接于所述机架的外侧，且通过所述固接部与所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.刻蚀设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述电源柜(200)包括前面板(210)以及具有铰接部(221)和固接部(222)的框体(220)，所述框体(220)围设于前面板(210)的外周以与所述前面板(210)围成所述安装槽，所述机架(100)包括侧板(110)，且所述侧板(110)的至少局部形成所述盖合部，所述框体(220)和所述侧板(110)通过铰链(230)铰接。

3.根据权利要求2所述的刻蚀设备，其特征在于，所述电源柜(200)还包括滚轮(240)，所述滚轮(240)设于所述框体(220)的下端，且用于支撑所述电源柜...

【技术特征摘要】

1.刻蚀设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述电源柜(200)包括前面板(210)以及具有铰接部(221)和固接部(222)的框体(220)，所述框体(220)围设于前面板(210)的外周以与所述前面板(210)围成所述安装槽，所述机架(100)包括侧板(110)，且所述侧板(110)的至少局部形成所述盖合部，所述框体(220)和所述侧板(110)通过铰链(230)铰接。

3.根据权利要求2所述的刻蚀设备，其特征在于，所述电源柜(200)还包括滚轮(240)，所述滚轮(240)设于所述框体(220)的下端，且用于支撑所述电源柜(200)；和/或，

4.根据权利要求3所述的刻蚀设备，其特征在于，所述电源柜(200)包括至少两个滚轮(240)，其中至少一个滚轮(240)安装于所述框体(220)远离所述铰链(230)的一端，至少另一个安装于所述框体(220)靠近铰链(230)的一端。

5.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述机架(100)设有锁定件(120)，所述锁定件(120)开设有锁定孔(121)，所述电源柜(200)于固接部(222)处开设有锁定螺孔，锁定螺钉能穿过锁定孔(121)并和锁定螺孔螺纹配合。

6.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀设备还包括控制柜，所述控制柜设于所述机架(100)的内部，所述机架(100)的侧板(110)包括侧主板(111)和控制板(112)，所述侧主板(111)形成所述盖合部，所述控制板(112)设有第一散热通风孔(1121)，所述控制板(112)形成所述控制柜的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高修奎，戴建波，石宇，
申请(专利权)人：无锡邑文微电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：