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本技术涉及晶圆制造技术领域，具体公开了一种刻蚀设备，该刻蚀设备包括机架和电源柜，其中，机架的内部设有用于刻蚀的腔体；电源柜和机架二者中的一个设有安装槽，另一个设有盖合部，盖合部盖设于安装槽的开口并围成用于容纳元器件的电源腔体；电源柜的一侧设...
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