【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子显微镜，特别涉及一种电镜样品托、电子显微镜和提高样品成像质量的方法。
技术介绍
1、扫描电子显微镜采用电子束作为发射源，在样品表面进行往复的扫描动作，然后收集电子束与样品表面相互作用产生的二次电子或背散射电子等，并逐点扫描形成灰度图像。在扫描电子显微镜工作过程中，高能电子束对于降低电子束束斑尺寸，提高成像分辨率具有一定优势，而高能电子束会对敏感样品的表面造成损伤；因此，部分扫描电子显微镜采用反向减速的结构设计，通过在样品表面施加负电压(即减速电压)的方式，使高能电子束在到达样品表面前完成减速，实现低落点能量的目的。
2、但是，电镜的反向减速模式对样品的形态要求较高，当测试样品为样品平面容易出现不平或存在凹凸的颗粒类样品时，样品成像的质量和分辨率都会变差，严重影响对样品形貌的观察。
技术实现思路
1、针对上述问题，本专利技术公开了一种电镜样品托、电子显微镜和提高样品成像质量的方法，以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题。
2、为了实现上述目的，本专...
【技术保护点】
1.一种电镜样品托，其特征在于，所述电镜样品托的上端面开有凹槽，所述凹槽的槽壁由槽底至槽口方向向所述凹槽的外侧倾斜，所述凹槽的槽底用于承载样品。
2.根据权利要求1所述的电镜样品托，其特征在于，所述凹槽的槽底和所述凹槽的槽壁之间的夹角大于135°，且小于150°。
3.根据权利要求1所述的电镜样品托，其特征在于，所述凹槽的槽深为10mm～20mm。
4.根据权利要求1所述的电镜样品托，其特征在于，所述凹槽的槽口尺寸为0.3cm～0.5cm。
5.根据权利要求1所述的电镜样品托，其特征在于，所述电镜样品托的形状为正方形、圆...
【技术特征摘要】
1.一种电镜样品托，其特征在于，所述电镜样品托的上端面开有凹槽，所述凹槽的槽壁由槽底至槽口方向向所述凹槽的外侧倾斜，所述凹槽的槽底用于承载样品。
2.根据权利要求1所述的电镜样品托，其特征在于，所述凹槽的槽底和所述凹槽的槽壁之间的夹角大于135°，且小于150°。
3.根据权利要求1所述的电镜样品托，其特征在于，所述凹槽的槽深为10mm～20mm。
4.根据权利要求1所述的电镜样品托，其特征在于，所述凹槽的槽口尺寸为0.3cm～0.5cm。
5.根据权利要求1所述的电镜样品托，其特征在于，所述电镜样品托的形状为正方形、圆形或长方形，...
【专利技术属性】
技术研发人员：马建徽，王鹏飞，杨润潇，刘航，王志斌，杨光，信文平，白璐，张卓然，
申请(专利权)人：中国航发四川燃气涡轮研究院，
类型：发明
国别省市：
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