【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及平面电机，具体涉及一种视觉与涡流结合实现六自由度反馈的平面电机及方法。
技术介绍
1、平面电机是一种利用电磁力就可实现平面运动的新型电机；通常在平面电机的运行过程中，需要对动子的位置和姿态进行实时监测，以确保平面电机的运行稳定性。目前对于动子六自由度信息的获取通常会采用如包含三轴加速度计、三轴陀螺仪或磁力计等多个传感器的惯性测量单元，但是在长时间运行过程中，加速度计受重力分量的影响以及陀螺仪的漂移等会产生误差并累积，对于自由度信息的精准反馈具有较大的影响；或者采用六自由度激光跟踪仪，常用于航空航天领域，但其价格昂贵，对装配环境和实验环境要求较高，很难实现在常规场景下的应用；或采用霍尔传感器进行六自由度反馈，但是对于六自由度信息的解算方法较为繁琐复杂，不易操作。因此，基于上述问题，研究一种可实现六自由度信息反馈且精度高、操作方便、成本低的平面电机，具有重要意义。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种视觉与涡流结合实现六自由度反馈的平面电机及方法，以解决上述
技术介绍
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【技术保护点】
1.一种视觉与涡流结合实现六自由度反馈的平面电机，其特征在于，包括定子组件（1）、柔性电路板（2）、涡流传感器（3）、视觉组件以及动子组件（4），所述定子组件（1）设置在基板（10）上，所述柔性电路板（2）设置在定子组件（1）的顶端，所述柔性电路板（2）采用透明材质制成，所述涡流传感器（3）设置在柔性电路板（2）上，用于获取动子组件（4）的俯仰角、翻滚角以及动子中心z轴高度；所述视觉组件设置在定子组件（1）与动子组件（4）之间，用于获取动子组件（4）的x轴位移、y轴位移以及偏转角，所述动子组件（4）在定子组件（1）的磁场作用下悬浮在涡流传感器（3）的上方。
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