【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及原子力显微镜，尤其是涉及一种面向大尺寸样品的原子力显微镜及其扫描方法。
技术介绍
1、原子力显微镜是一种通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。原子力显微镜来研究物质的表面结构及性质。
2、相关技术中，原子力显微镜的扫描机构包括悬臂梁探针、光杠杆检测光路模块及光学检测模块，光杠杆检测光路模块用于发射激光至悬臂梁探针并产生反射，光学检测模块用于对悬臂梁探针上反射的光斑进行检测。在采用原子力显微镜对样品进行扫描时，通过控制悬臂梁探针进行移动，由于悬臂梁探针的尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，悬臂梁探针在移动过程中与样品间距发生变化，此时通过光学检测模块对反射的光斑进行检测以确定悬臂梁探针对应于样品上扫描各点的位置变化，从而分析得到样品的三维形貌。
3、为了使光杠杆检测光路模块上输出的检测光束在扫描过程中能够聚焦到悬臂梁探针上，一般会将悬臂梁探针、光杠杆检测光路模块及光学检测模块均集成于...
【技术保护点】
1.一种面向大尺寸样品的原子力显微镜，包括显微镜主体及设置于所述显微镜主体上并用于进行扫描检测的显微镜测头，其特征在于：所述显微镜测头包括用于对样品进行扫描检测并输出反射光线的扫描机构(1)及用于接收反射光线的光电转换机构(2)，所述光电转换机构(2)接收反射光线并进行处理以形成扫描检测信息，所述光电转换机构(2)接收反射光线的一侧与所述扫描机构(1)输出反射光线的一侧始终相对。
2.根据权利要求1所述的面向大尺寸样品的原子力显微镜，其特征在于：所述扫描机构(1)包括用于控制输出激光的激光发射器(3)、用于对激光进行分光的分光件(4)及用于进行扫描的悬臂梁...
【技术特征摘要】
1.一种面向大尺寸样品的原子力显微镜，包括显微镜主体及设置于所述显微镜主体上并用于进行扫描检测的显微镜测头，其特征在于：所述显微镜测头包括用于对样品进行扫描检测并输出反射光线的扫描机构(1)及用于接收反射光线的光电转换机构(2)，所述光电转换机构(2)接收反射光线并进行处理以形成扫描检测信息，所述光电转换机构(2)接收反射光线的一侧与所述扫描机构(1)输出反射光线的一侧始终相对。
2.根据权利要求1所述的面向大尺寸样品的原子力显微镜，其特征在于：所述扫描机构(1)包括用于控制输出激光的激光发射器(3)、用于对激光进行分光的分光件(4)及用于进行扫描的悬臂梁探针(5)，所述分光件(4)将所述激光发射器(3)发射的激光分成第一分光及第二分光，所述光电转换机构(2)包括用于接收第一分光的反射光并形成第一探测信息的第一光电探测组件(6)、用于接收第二分光并形成第二探测信息的第二光电探测组件(7)及用于同时接收第一探测信息与第二探测信息并处理形成扫描检测信息的探测处理件(8)。
3.根据权利要求2所述的面向大尺寸...
【专利技术属性】
技术研发人员：张锐，
申请(专利权)人：泰州锐意检测技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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