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本发明涉及一种面向大尺寸样品的原子力显微镜及其扫描方法，涉及原子力显微镜技术领域，其原子力显微镜包括显微镜主体及设置于显微镜主体上并用于进行扫描检测的显微镜测头，显微镜测头包括用于对样品进行扫描检测并输出反射光线的扫描机构及用于接收反射光线...
该专利属于泰州锐意检测技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泰州锐意检测技术有限公司授权不得商用。

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