【技术实现步骤摘要】
本申请涉及等离子体光源，尤其是涉及一种灯室冷却装置以及激光维持等离子体光源系统。
技术介绍
1、激光维持等离子体(lsp)光源能够产生高功率宽带(190-2300nm)激光，用于半导体晶圆缺陷的检测。lsp光源点亮是在灯泡的两极加高电压，击穿灯泡内的惰性气体，产生等离子体，然后将红外激光辐射通过聚光镜聚焦到灯泡内电极中间一个点，维持高温等离子体持续发光。
2、在lsp工作过程中，聚光镜和灯泡会被激光加热升温，为了维持lsp的正常工作，需要对灯泡和聚光镜降温，即对聚光镜朝向灯泡一侧的灯室进行冷却。目前灯室内的冷却依靠高纯氮气自上向下流通来冷却，但是由于灯室结构复杂，为保证温度可控，导致氮气需求量大，而且冷却效果较差。
技术实现思路
1、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本申请提供一种灯室冷却装置以及激光维持等离子体光源系统，该灯室冷却装置可以降低氮气消耗，提升灯室的冷却效果，并降低对灯室侧光路的不利影响。
2、根据本技术的一个方面，提供一种灯室冷却装置，包括：气孔，所述气孔形成于聚光镜上；供气组件，设于所述聚光镜远离灯泡的一侧，能够向所述气孔供应冷却气体。
3、通过使用本技术方案中的灯室冷却装置，在激光维持等离子光源系统运行时，使用供气组件持续向气孔输送冷却气体，冷却气体从气孔排出，第一时间吹向灯室和灯泡，并从灯室侧排出，从而带走聚光镜和灯泡产生的热量，避免了在灯室内布置冷却气体管路，能够更有效的利用冷却气体控制灯室的温度，降低冷却气体消耗的同时，提升灯室
4、另外，根据本申请的灯室冷却装置，还可具有如下附加的技术特征：
5、在本技术的一些实施方式中，所述聚光镜为碗型结构，所述灯泡位于所述碗型结构内。
6、在本技术的一些实施方式中，所述气孔为多个。
7、在本技术的一些实施方式中，多个所述气孔分为多排，每排气孔在所述聚光镜上均环绕所述灯泡布置。
8、在本技术的一些实施方式中，多个所述气孔均匀开设于所述聚光镜上。
9、在本技术的一些实施方式中，所述气孔朝向所述灯泡。
10、在本技术的一些实施方式中，所述供气组件包括：外壳，所述外壳连接于所述聚光镜远离所述灯泡的一侧，在所述外壳与所述聚光镜之间形成气腔，所述气腔覆盖所述气孔。
11、在本技术的一些实施方式中，所述外壳上形成有进气口。
12、在本技术的一些实施方式中，所述外壳远离所述聚光镜的一侧连接管体形成所述进气口。
13、根据本技术的另一方面，提供一种激光维持等离子体光源系统，包括上述的灯室冷却装置。
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1.一种灯室冷却装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述气孔朝向所述灯泡。
3.根据权利要求1所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述供气组件包括：
4.根据权利要求3所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述外壳上形成有进气口。
5.根据权利要求4所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述外壳远离所述聚光镜的一侧连接管体形成所述进气口。
6.一种激光维持等离子体光源系统，其特征在于，包括如权利要求1至5任一项所述的灯室冷却装置。
【技术特征摘要】
1.一种灯室冷却装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述气孔朝向所述灯泡。
3.根据权利要求1所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述供气组件包括：
4.根据权利要求3所述的灯室冷却装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐忠元，裴德奎，杨文秀，
申请(专利权)人：北京子牛亦东科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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