灯室冷却装置以及激光维持等离子体光源系统制造方法及图纸

本申请涉及等离子体光源技术领域的一种灯室冷却装置以及激光维持等离子体光源系统，灯室冷却装置包括：气孔，所述气孔形成于聚光镜上；供气组件，设于所述聚光镜远离灯泡的一侧，能够向所述气孔供应冷却气体。本申请的灯室冷却装置可以降低氮气消耗，提升灯室的冷却效果，并降低对灯室侧光路的不利影响，且不再需要定期更换冷却气体管路，降低了成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及等离子体光源，尤其是涉及一种灯室冷却装置以及激光维持等离子体光源系统。

技术介绍

1、激光维持等离子体(lsp)光源能够产生高功率宽带(190-2300nm)激光，用于半导体晶圆缺陷的检测。lsp光源点亮是在灯泡的两极加高电压，击穿灯泡内的惰性气体，产生等离子体，然后将红外激光辐射通过聚光镜聚焦到灯泡内电极中间一个点，维持高温等离子体持续发光。

2、在lsp工作过程中，聚光镜和灯泡会被激光加热升温，为了维持lsp的正常工作，需要对灯泡和聚光镜降温，即对聚光镜朝向灯泡一侧的灯室进行冷却。目前灯室内的冷却依靠高纯氮气自上向下流通来冷却，但是由于灯室结构复杂，为保证温度可控，导致氮气需求量大，而且冷却效果较差。

技术实现思路

1、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本申请提供一种灯室冷却装置以及激光维持等离子体光源系统，该灯室冷却装置可以降低氮气消耗，提升灯室的冷却效果，并降低对灯室侧光路的不利影响。

2、根据本技术的一个方面，提供一种灯室冷却装置，包括：气孔，所述气孔形成于聚光镜上；供气组本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种灯室冷却装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述气孔朝向所述灯泡。

3.根据权利要求1所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述供气组件包括：

4.根据权利要求3所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述外壳上形成有进气口。

5.根据权利要求4所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述外壳远离所述聚光镜的一侧连接管体形成所述进气口。

6.一种激光维持等离子体光源系统，其特征在于，包括如权利要求1至5任一项所述的灯室冷却装置。

【技术特征摘要】

1.一种灯室冷却装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述气孔朝向所述灯泡。

3.根据权利要求1所述的灯室冷却装置，其特征在于，所述供气组件包括：

4.根据权利要求3所述的灯室冷却装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐忠元，裴德奎，杨文秀，
申请(专利权)人：北京子牛亦东科技有限公司，
类型：新型
国别省市：