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本申请涉及等离子体光源技术领域的一种灯室冷却装置以及激光维持等离子体光源系统，灯室冷却装置包括：气孔，所述气孔形成于聚光镜上；供气组件，设于所述聚光镜远离灯泡的一侧，能够向所述气孔供应冷却气体。本申请的灯室冷却装置可以降低氮气消耗，提升灯室...
该专利属于北京子牛亦东科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京子牛亦东科技有限公司授权不得商用。

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