一种机械爪及工业机器人制造技术

本发明专利技术涉及机械爪技术领域，一方面公开了一种机械爪，包括两个对称安装的爪件以及用于驱动两个爪件相向和相背运动的位移机构，每个爪件包括：主体、指尖、囊腔和充放气组件，主体与位移机构连接，两个爪件的指尖均固定于主体，且两个爪件的之间的夹持侧相对，指尖的内部具有腔体，指尖的夹持侧开有通槽，通槽与腔体连通，囊腔固定于通槽处，充放气组件位于腔体内，充放气组件与囊腔连接，以对囊腔进行充放气。本发明专利技术另一方面公开了一种工业机器人，包括如上的机械爪，这样则能够在工业机器人转移芯片时，则能够通过机械爪将芯片通过柔性力紧紧夹持在两个指尖之间，从而避免对芯片的微结构夹持损伤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机械爪，特别涉及一种机械爪及工业机器人。

技术介绍

1、机械爪作为智能机器人的末端执行部件其形态千差万别以为适应不同的使用对象。

2、机械爪的爪件根据不同的使用对象其形态和数量也不尽相同，对于芯片的制作来说，芯片的制作过程中需要将晶圆片的表面经过抛光才能在上面形成电路图形，抛光后的晶圆片需要在特定工位进行电路图形的刻画，经刻画后的芯片再经由机械爪转移至其他工位进行下一步的装配等工序。

3、由于制作为芯片的晶圆片其厚度一般在1mm以内，由于芯片的侧面能够夹持的接触面过小，不容易夹持，因此，在机械爪转移芯片的时候，常用的机械爪采用连杆式的外抓式机械爪，通过两个爪件从芯片的正反面将芯片夹持在机械爪上，经刻画后芯片正面会有很多微结构，爪件在给芯片施加夹持力时，其施加在夹持部位微结构的受力不均匀，受点力可能侧重于刻槽的突起部位，导致夹持损伤，从而会出现一些残次品。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种机械爪及工业机器人，能够避免芯片的微结构夹持损伤。

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种机械爪，包括两个对称安装的爪件(10)以及用于驱动两个所述爪件(10)相向和相背运动的位移机构(20)，其特征在于，每个所述爪件(10)包括：

2.如权利要求1所述的机械爪，其特征在于，所述囊腔(104)的夹持侧(A)为平面结构。

3.如权利要求2所述的机械爪，其特征在于，所述囊腔(104)的夹持侧(A)的囊壁上具有多个空心的凸起(105)，所述凸起(105)与所述囊腔(104)内部连通。

4.如权利要求3所述的机械爪，其特征在于，所述凸起(105)的外表面为弧形面，相邻的两个所述凸起(105)之间的囊壁设为凹陷结构(106)。

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【技术特征摘要】

1.一种机械爪，包括两个对称安装的爪件(10)以及用于驱动两个所述爪件(10)相向和相背运动的位移机构(20)，其特征在于，每个所述爪件(10)包括：

2.如权利要求1所述的机械爪，其特征在于，所述囊腔(104)的夹持侧(a)为平面结构。

3.如权利要求2所述的机械爪，其特征在于，所述囊腔(104)的夹持侧(a)的囊壁上具有多个空心的凸起(105)，所述凸起(105)与所述囊腔(104)内部连通。

4.如权利要求3所述的机械爪，其特征在于，所述凸起(105)的外表面为弧形面，相邻的两个所述凸起(105)之间的囊壁设为凹陷结构(106)。

5.如权利要求4所述的机械爪，其特征在于，其中一个爪件(10)上的囊腔(104)的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建波，陈含兵，杨超，朱荷蕾，杨嘉斌，张宇鸿，李晨鹏，
申请(专利权)人：嘉兴学院，
类型：发明
国别省市：