【技术实现步骤摘要】
本申请涉及生产预警，具体涉及一种机台报警装置。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。因半导体电路制造的高精度、高清洁度等要求，故对其基础组成部分—晶圆的生产要求也较高。在生产制造晶圆时，由于电路断路或过载等原因，会导致生产晶圆的设备跳闸，如晶圆研磨机台等，而由于车间生产晶圆的设备较多且制造晶圆的设备相对封闭，其停产与生产状态的差别相对较小，故工作人员无法及时发现机台跳闸，往往会导致跳闸的机台无法得到及时处理，而引起机台内的晶圆报废等问题。
2、因此，亟需一种可及时处理机台跳闸的技术。
技术实现思路
1、本申请提供了一种机台报警装置，可以解决现有技术中机台跳闸时无法得到及时处理的问题。
2、为解决上述一个或多个技术问题，本申请采用的技术方案是：
3、本申请提供了一种机台报警装置，其包括断路器、闸刀，所述断路器与所述闸刀通过电源线串联，所述装置还包括继电器及提示组件，所述提示组件用于发出提示信号，所述继电器与电源线通过第一导线电连接，且所述第...
【技术保护点】
1.一种机台报警装置，其包括断路器、闸刀，所述断路器与所述闸刀通过电源线串联，其特征在于，所述装置还包括继电器及提示组件，所述提示组件用于发出提示信号，所述继电器与电源线通过第一导线电连接，且所述第一导线与电源线的连接点位于所述闸刀与所述断路器之间；
2.根据权利要求1所述的机台报警装置，其特征在于，电源线包括三相导线，所述断路器与所述闸刀通过所述三相导线串联，所述三相导线中一相的导线上设有第一节点、第二节点，其余两相导线中的一相导线上设有第三节点、第四节点，所述第一节点及所述第二节点设于所述闸刀与所述断路器之间，所述第三节点与所述第四节点设于所述闸刀远离...
【技术特征摘要】
1.一种机台报警装置，其包括断路器、闸刀，所述断路器与所述闸刀通过电源线串联，其特征在于，所述装置还包括继电器及提示组件，所述提示组件用于发出提示信号，所述继电器与电源线通过第一导线电连接，且所述第一导线与电源线的连接点位于所述闸刀与所述断路器之间；
2.根据权利要求1所述的机台报警装置，其特征在于，电源线包括三相导线，所述断路器与所述闸刀通过所述三相导线串联，所述三相导线中一相的导线上设有第一节点、第二节点，其余两相导线中的一相导线上设有第三节点、第四节点，所述第一节点及所述第二节点设于所述闸刀与所述断路器之间，所述第三节点与所述第四节点设于所述闸刀远离所述断路器的一侧；
3.根据权利要求2所述的机台报警装置，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴正龙，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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