【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及粒子束系统和用于操作粒子束系统的方法。进一步地，本专利技术涉及一种用于在粒子束系统上执行该方法的计算机程序产品。
技术介绍
1、一些常规粒子束系统包括用于生成带电粒子束的粒子源、具有对束进行侧向限制的圆形孔径的孔径光阑、将束聚焦到焦平面上的物镜、检测束与位于焦平面上的样本的相互作用产物并根据检测到的相互作用产物输出检测信号的检测器、以及控制粒子束系统并评估检测信号以生成样本图像的控制器。
2、然而，物镜使束聚焦可能引起球面像差和色差。对于常规电子束显微镜，特定的高性能粒子源的束的能量宽度可以具有大约0.3ev至0.7ev的值，而使用束的能量宽度最高达3ev的粒子源。相应地，色差可能占了在焦平面上束的总像差的大部分。在这种情况下，色差是导致分辨率有限的主要因素。束在焦平面上的总像差越小，分辨率就越高。
3、为了减少物镜使束聚焦的色差，可以使用常规矫正器。在图1中展示了常规矫正器。常规矫正器由四个依次布置的多极场发生器组成，每个多极场发生器被配置为生成用于操纵带电粒子束的多极场。具有圆形截面的准直束平行...
【技术保护点】
1.一种操作粒子束系统(100，200，300，400，500，600)的方法，该方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，计算该合成图像包括：
3.根据权利要求2所述的方法，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，计算该合成图像包括：
5.一种操作粒子束系统(100，200，300，400，500，600)的方法，该方法包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其中，进行该目标取向的选择，以使得该样本(2)上的线结构基本上垂直于该第一方向。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，...
【技术特征摘要】
1.一种操作粒子束系统(100，200，300，400，500，600)的方法，该方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，计算该合成图像包括：
3.根据权利要求2所述的方法，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，计算该合成图像包括：
5.一种操作粒子束系统(100，200，300，400，500，600)的方法，该方法包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其中，进行该目标取向的选择，以使得该样本(2)上的线结构基本上垂直于该第一方向。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，操纵该带电离子束(3)(s3)包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其中，该第一多极场
9.根据权利要求7或8所述的方法，其中该第一多极场减少该物镜(13)在该第一方向上的聚焦的色差，并且增大该物镜(13)在该第二方向上的聚焦的色差。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的方法，其中，对该束剖面在该焦平面(fp)上相对于该样本(2)的取向进行调整包括使该第一多极场旋转。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的方法，其中，除了该第一多极场以外，没有设置其他电场或磁场来矫正该物镜(13)在与该第一方向不同的方向上的聚焦的色差。
12.根据权利要求7至11中任一项所述的方法，其中，操纵该带电粒子束(3)包括：
13.根据权利要求12所述的方法，其中，调整这些最大照射角包括：
14.根据权利要求13所述的方法，其中，对该束剖面在该焦平面(fp)上相对于该样本(2)的取向进行调整包括使该孔径光阑(19)旋转。
15.根据权利要求12所述的方法，其中，调整这些最大照射角包括：
16.根据权利要求15所述的方法，其中，对该束剖面在该焦平面(fp)上相对于该样本(2)的取向进行调整包括使该第二多极场和该第三多极场旋转。
17.根据权利要求12所述的方法，其中，调整这些最大照射角包括：
18.根据权利要求17所述的方法，其中，对该束剖面在...
【专利技术属性】
技术研发人员：D·普雷克斯扎斯，K·维克尔，B·加姆，Y·诺维卡乌，R·沃尔申斯基，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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